DGS 程序手册3__N7201A664C.pdf - 第547页

NPM-DGS 程序手册 13.2 支撑销配置数据的编制功能 EJS9AC-MB-13P-30 Page 13-47 NPM-WX NPM-WXS AM100  可配置领域，是指支撑销中心的范围 。  当基板输送方向相反时，配置区域即 为左右反转。 M 尺寸双轨 单轨模式时 削除 可配置区域 基板外形 基准 不可配置销的范围 21 21 350 400 750 268.5 248.5 双轨模式时 轨道 2 轨道 1 不可配置销的范围…