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NPM-DGS 程序手册 13.2 支撑销配置数据的编制功能 EJS9AC-MB-13P-30 Page 13-49 SPG2 在 SPG2 下，根据基板尺寸的不同，不 能配置销的范围将会发生变动。 接下页  可配置领域，是指支撑销中心的范围 。  当基板输送方向相反时，配置区域即 为左右反转。 基板尺寸 : 510mm(L) X 510mm(W) (1) (4) (3) B 点 C 点 A 点 D 点 E 点 (2) (5) (6…

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NPM-DGS
程序手册
13.2
支撑销配置数据的编制功能
Page 13-48 EJS9AC-MB-13P-30
VM101/VM102
可配置领域，是指支撑销中心的范围。
当基板输送方向相反时，配置区域即为左右反转。
单轨传送带
3249
21
6
21
基板外形
不可配置销的范围
可配置区域
基准
NPM-DGS
程序手册
13.2
支撑销配置数据的编制功能
EJS9AC-MB-13P-30 Page 13-49
SPG2
在
SPG2
下，根据基板尺寸的不同，不能配置销的范围将会发生变动。
接下页
可配置领域，是指支撑销中心的范围。
当基板输送方向相反时，配置区域即为左右反转。
基板尺寸
: 510mm(L) X 510mm(W)
(1)
(4)
(3)
B
点
C
点
A
点
D
点
E
点
(2)
(5)
(6)
不可配置销的范围
基准
可配置区域
基板外形
10
26.5
23.5
30
10
11.5
10
20
基板尺寸
: 490mm(L) X 300mm(W)
26.5
(1)
(2)
(5)
(6)
B
点
C
点
D
点
不可配置销的范围
基准
可配置区域
基板外形
10
23.5
30
11.5
NPM-DGS
程序手册
13.2
支撑销配置数据的编制功能
Page 13-50 EJS9AC-MB-13P-30
SPG2
接前页
不能配置销的范围如下所示。
No.
X
轴
Y
轴
(1)
B
点
~ C
点
23.5 mm ~ 35 mm
(2)
D
点
~ E
点
23.5 mm ~ 50 mm
(3)
0 mm ~ A
点
0 mm ~ 510 mm
(4)
E
点
~ 510 mm
0 mm ~ 510 mm
(5)
基板长度
(L)
0 mm ~ 23.5 mm
(6)
基板长度
(L)
基板宽度
(W) - 10.0 mm ~
基板宽度
(W) mm
可配置领域，是指支撑销中心的范围。
当基板输送方向相反时，配置区域即为左右反转。
基板尺寸
: 200mm(L) X 200mm(W)
(1)
(5)
(6)
B
点
C
点
不可配置销的范围
基准
可
配置区
域
基板外形
10
23.5
30
11.5