DGS 程序手册3__N7201A664C.pdf - 第548页
NPM-DGS 程序手册 13.2 支撑销配置数据的编制功能 Page 13-48 EJS9AC-MB-13P-30 VM101/VM102 可配置领域，是指支撑销中心的范围 。 当基板输送方向相反时，配置区域即 为左右反转。 单轨传送带 3249 21 6 21 基板外形 不可配置销的范围 可配置区域 基准
NPM-DGS
程序手册
13.2
支撑销配置数据的编制功能
EJS9AC-MB-13P-30 Page 13-47
NPM-WX
NPM-WXS
AM100
可配置领域，是指支撑销中心的范围。
当基板输送方向相反时，配置区域即为左右反转。
M
尺寸双轨
单轨模式时
削除
可配置区域
基板外形
基准
不可配置销的范围
21
21
350
400
750
268.5
248.5
双轨模式时
轨道
2
轨道
1
不可配置销的范围
可配置区域
基板外形
基准
基准
21
21
21
21
350
400
750
单轨传送带
509
21
6
21
基板外形
不可配置销的范围
可配置区域
基准
NPM-DGS
程序手册
13.2
支撑销配置数据的编制功能
Page 13-48 EJS9AC-MB-13P-30
VM101/VM102
可配置领域，是指支撑销中心的范围。
当基板输送方向相反时，配置区域即为左右反转。
单轨传送带
3249
21
6
21
基板外形
不可配置销的范围
可配置区域
基准
NPM-DGS
程序手册
13.2
支撑销配置数据的编制功能
EJS9AC-MB-13P-30 Page 13-49
SPG2
在
SPG2
下，根据基板尺寸的不同，不能配置销的范围将会发生变动。
接下页
可配置领域，是指支撑销中心的范围。
当基板输送方向相反时，配置区域即为左右反转。
基板尺寸
: 510mm(L) X 510mm(W)
(1)
(4)
(3)
B
点
C
点
A
点
D
点
E
点
(2)
(5)
(6)
不可配置销的范围
基准
可配置区域
基板外形
10
26.5
23.5
30
10
11.5
10
20
基板尺寸
: 490mm(L) X 300mm(W)
26.5
(1)
(2)
(5)
(6)
B
点
C
点
D
点
不可配置销的范围
基准
可配置区域
基板外形
10
23.5
30
11.5