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SYS- NXT3 -002S0 5. 生产 NXT III 系统手册 165 3. 从料槽 12 内取出料盘托架。 料盘元件安装到料槽上 1. 请确认要补料的料槽。需要补料 的料槽的 LED 亮灯着。另外，对于向导画面 上所选择的 料槽，LED 闪烁着。 2. 请按下料盘安装按钮。 3. 将料盘安装到料盘托架上。
5. 生产 SYS-NXT3-002S0
164 NXT III 系统手册
拉出托盘
1. 打开料盘装置 -LT 的正面门 . 请打开下层的门。
2. 请拿住捏手，抬起托架挡块。
备注 )即使在托架档块处于下降状态时也可以半拉出料盘托架。此为便于操作员确认元件状
态用的规格。补料时，请务必抬起托架档块。
注意
不抬起托架档块就进行元件的补料作业时，有可能损坏料盘托架或者料盘
箱。
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SYS-NXT3-002S0 5. 生产
NXT III 系统手册 165
3. 从料槽 12 内取出料盘托架。
料盘元件安装到料槽上
1. 请确认要补料的料槽。需要补料的料槽的 LED 亮灯着。另外，对于向导画面上所选择的
料槽，LED 闪烁着。
2. 请按下料盘安装按钮。
3. 将料盘安装到料盘托架上。
