NPM-W使用说明书故障排除篇.pdf - 第100页

故障查找编辑 2-1-5 错误信息中途停止错误 ( 基板传送错误 1) 错误信息错误码错误原因检查和对策基板搬送时超时。 1) 请确认传送带上的基板和基板检基板搬送时超时。 ( 发生了基板搬入错误。 ) 1) 请确认传送带上的基板和基板检出传感器的状态。 2) 请确认传送带的宽度。基板搬入错误 44000 基板搬送时超时。 ( 发生了基板搬出错误。 ) 1) 请确认传送带上的基板和基板检出传感器的状态。 2) 请确…

错误信息错误码错误原因检查和对策

检出电极部的亮度

(

明亮度

)

请确认登陆元件形状电极部的

检出电极部的亮度

(

明亮度

)

状态异常・球形阵列元件

的球形碎片和引线组阵列

元件的引线组弯曲等电极

部亮度过于零散、发生了

规定亮度不足。还有、识

别选项:在追加亮度检查

时的异常判定时也发生了

本错误

(

这种场合下

请确认登陆元件形状电极部的

位置和尺寸。请确认电极部以

外的画像里是否登陆了不稳定

的形状。

2)请确认电极部的画像状态。在

阵列电极元件中电极部部分黑

暗的场合下、为了电极部变为

均等的亮度状态请调整照明值。

A47

(51)

的识别错误的场合下

错

误

对

策

本错误

。

(

这种场合下

、

就变成了Ans47(51)错误

代码)

(识别错误电极部亮度状

态异常)

(51)

的识别错误的场合下

、

请确认亮度检查选项中登陆的

位置和水平是否适当。

元件识别错误

43047

策

在坏符号识别中、判定有

坏符号

(识别错误判定对象符号

检出异常)

在坏符号识别中没有坏符号的位

置发生本错误的场合下、请确认

符号判定区域尺寸・设定的照明

值・画像TH值。…画像里使用不

稳定部分的场合下

不能判定是

稳定部分的场合下

、

不能判定是

否存在稳定的符号。为了在符号

有无状态下在画像中有稳定的差

异请示教。

元件识别错误

43049

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2-1-4-28

故障查找编辑

2-1-5

错误信息

中途停止错误

(基板传送错误 1)

错误信息错误码错误原因检查和对策

基板搬送时超时

。

请确认传送带上的基板和基板检

基板搬送时超时

。

(发生了基板搬入错误。)

请确认传送带上的基板和基板检

出传感器的状态。

2)请确认传送带的宽度。

基板搬入错误

44000

基板搬送时超时。

(发生了基板搬出错误。)

1)请确认传送带上的基板和基板检

出传感器的状态。

2)请确认传送带的宽度。

基板搬出错误

44001

基板搬出后停止位置传感器

打开了

1)请确认传送带上的基板和基板检

出传感器的状态

打开了

。

(发生了基板搬出后传感器

异常。)

出传感器的状态

。

2)请确认传送带的宽度。

基板搬出后传

感器异常

44002

基板排出后后工序机器的基

板要求信号在设定时间内没

有关闭。

(发生了后工序要求关闭等

待超时。)

1)请确认传送带上的基板和基板检

出传感器的状态。

2)请确认基板排出等待时间(要求

关闭)的设定值。

后工序要求

OFF的超时错

误

44003

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错误信息错误码错误原因检查和对策

基板搬入时基板停止位置传

请确认传送带上的基板和基板检出

基板搬入时基板停止位置传

感器已经打开。

(基板搬入时检出有基板。)

请确认传送带上的基板和基板检出

传感器的状态。

基板有错误

44004

错

误

对

策

基板搬入时由于越限检出传

感器没有关闭。

(基板搬入时越限传感器发

生异常。)

请确认传送带上的基板和基板检出

传感器的状态。

传送带的越限

传感器异常

44005

策

基板搬入时由于越限检出停

止位置传感器关闭了。

(基板搬入时发生了基板位

置决定错误

。

)

请确认传送带上的基板和基板检出

传感器的状态。

置决定错误

)

基板定位错误

44006

机器间的中间待机搬送时后

请确认机器间的同步确认信号和

机器间的中间待机搬送时后

工序机器的基板要求信号没

有打开。

(机器间的中间待机搬送发

生了超时。)

请确认机器间的同步确认信号和

中间待机确认信号的状态。

2)确认异常发生时的状态请和本公

司联络。

中间基板要求

信号ON的超

时错误

44007

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