NPM-W使用说明书 故障排除篇.pdf - 第104页

故障查找编辑 2-1-5 错误信息 中途停止错误 ( 基板传送错误 3) 错误信息 错误码 错误原因 检查和对策 基板搬送时检出了马达的 1) 请确认搬送马达 基板搬送时检出了马达的 驱动错误。 ( 搬送马达发生了异常。 ) 1) 请确认搬送马达 。 2) 请确认安全盖以及非常停止开关 的状态。 3) 确认异常发生时的状态请和本公 司联络。 搬送马达异常 44014 基板搬入时超限传感器比基 板停止传感器先检出为打 开。 ( 基板的停止…