NPM-W使用说明书 故障排除篇.pdf - 第101页
错误信息 错误码 错误原因 检查和对策 基板搬入时基板停止位置传 请确认传送带上的基板和基板检出 基板搬入时基板停止位置传 感器已经打开。 ( 基板搬入时检出有基板。 ) 请确认传送带上的基板和基板检出 传感器的状态。 基板有错误 44004 错 误 对 策 基板搬入时由于越限检出传 感器没有关闭。 ( 基板搬入时越限传感器发 生异常。 ) 请确认传送带上的基板和基板检出 传感器的状态。 传送带的越限 传感器异常 44005 策 基板搬…
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2-1-5
错误信息
中途停止错误
(基板传送错误 1)
错误信息 错误码 错误原因 检查和对策
基板搬送时超时
。
1)
请确认传送带上的基板和基板检
基板搬送时超时
。
(发生了基板搬入错误。)
1)
请确认传送带上的基板和基板检
出传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
基板搬入错误
44000
基板搬送时超时。
(发生了基板搬出错误。)
1)请确认传送带上的基板和基板检
出传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
基板搬出错误
44001
基板搬出后停止位置传感器
打开了
1)请确认传送带上的基板和基板检
出传感器的状态
打开了
。
(发生了基板搬出后传感器
异常。)
出传感器的状态
。
2)请确认传送带的宽度。
基板搬出后传
感器异常
44002
基板排出后后工序机器的基
板要求信号在设定时间内没
有关闭。
(发生了后工序要求关闭等
待超时。)
1)请确认传送带上的基板和基板检
出传感器的状态。
2)请确认基板排出等待时间(要求
关闭)的设定值。
后工序要求
OFF的超时错
误
44003
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错误信息 错误码 错误原因 检查和对策
基板搬入时基板停止位置传
请确认传送带上的基板和基板检出
基板搬入时基板停止位置传
感器已经打开。
(基板搬入时检出有基板。)
请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
基板有错误
44004
错
误
对
策
基板搬入时由于越限检出传
感器没有关闭。
(基板搬入时越限传感器发
生异常。)
请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
传送带的越限
传感器异常
44005
策
基板搬入时由于越限检出停
止位置传感器关闭了。
(基板搬入时发生了基板位
置决定错误
。
)
请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
置决定错误
)
基板定位错误
44006
机器间的中间待机搬送时后
1)
请确认机器间的同步确认信号和
机器间的中间待机搬送时后
工序机器的基板要求信号没
有打开。
(机器间的中间待机搬送发
生了超时。)
1)
请确认机器间的同步确认信号和
中间待机确认信号的状态。
2)确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
中间基板要求
信号ON的超
时错误
44007
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错误信息
中途停止错误
(基板传送错误 2)
错误信息 错误码 错误原因 检查和对策
基板搬送时基板信息的传
1)
请确认传送带上的基板位置
基板搬送时基板信息的传
递错误。
(基板信息的传递发生了错
误。)
1)
请确认传送带上的基板位置
。
2)请确认机器间的通信设定。
3)确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
基板信息传送
错误
44008
基板搬出时基板信息的移
动等待发生了超时。
(
基板信息的通信发生了错
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)
确认异常发生时的状态请和本公
(
基板信息的通信发生了错
误。)
3)
确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
基板信息通信
错误
44009
基板搬送时不能进行基板
信息的确认。
(基板信息的确认发生了错
误。)
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
4)确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
基板信息确认
基板信息确认
错误
44010
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