NPM-W使用说明书 故障排除篇.pdf - 第102页
故障查找编辑 2-1-5 错误信息 中途停止错误 ( 基板传送错误 2) 错误信息 错误码 错误原因 检查和对策 基板搬送时基板信息的传 1) 请确认传送带上的基板位置 基板搬送时基板信息的传 递错误。 ( 基板信息的传递发生了错 误。 ) 1) 请确认传送带上的基板位置 。 2) 请确认机器间的通信设定。 3) 确认异常发生时的状态请和本公 司联络。 基板信息传送 错误 44008 基板搬出时基板信息的移 动等待发生了超时。 ( 基板…
错误信息 错误码 错误原因 检查和对策
基板搬入时基板停止位置传
请确认传送带上的基板和基板检出
基板搬入时基板停止位置传
感器已经打开。
(基板搬入时检出有基板。)
请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
基板有错误
44004
错
误
对
策
基板搬入时由于越限检出传
感器没有关闭。
(基板搬入时越限传感器发
生异常。)
请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
传送带的越限
传感器异常
44005
策
基板搬入时由于越限检出停
止位置传感器关闭了。
(基板搬入时发生了基板位
置决定错误
。
)
请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
置决定错误
)
基板定位错误
44006
机器间的中间待机搬送时后
1)
请确认机器间的同步确认信号和
机器间的中间待机搬送时后
工序机器的基板要求信号没
有打开。
(机器间的中间待机搬送发
生了超时。)
1)
请确认机器间的同步确认信号和
中间待机确认信号的状态。
2)确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
中间基板要求
信号ON的超
时错误
44007
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2-1-5-2
故障查找编辑
2-1-5
错误信息
中途停止错误
(基板传送错误 2)
错误信息 错误码 错误原因 检查和对策
基板搬送时基板信息的传
1)
请确认传送带上的基板位置
基板搬送时基板信息的传
递错误。
(基板信息的传递发生了错
误。)
1)
请确认传送带上的基板位置
。
2)请确认机器间的通信设定。
3)确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
基板信息传送
错误
44008
基板搬出时基板信息的移
动等待发生了超时。
(
基板信息的通信发生了错
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)
确认异常发生时的状态请和本公
(
基板信息的通信发生了错
误。)
3)
确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
基板信息通信
错误
44009
基板搬送时不能进行基板
信息的确认。
(基板信息的确认发生了错
误。)
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
4)确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
基板信息确认
基板信息确认
错误
44010
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2-1-5-3
错误信息 错误码 错误原因 检查和对策
读取基板条形码要求发生
1)
请确认
LNB
和机器间的通信状态
读取基板条形码要求发生
了发送错误。
(向LNB发送命令发生了错
误。)
1)
请确认
LNB
和机器间的通信状态
。
2)请确认机器间的通信设定。
3)确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
LNB命令发送
错误
44011
错
误
对
策
读取基板条形码要求发生
了取得错误。
(
从
LNB
接收命令发生了错
。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)
确认异常发生时的状态请和本公
策
(
从
LNB
接收命令发生了错
误。)
3)
确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
LNB命令接收
错误
44012
等待读取基板条形码超时。
(从LNB接收命令发生了超
时。)
。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
LNB
命令接收
LNB
命令接收
超时
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