NPM-W使用说明书 故障排除篇.pdf - 第176页
故障查找编辑 2-1-12 错误信息 紧急停止错误 ( 传送带单 元 错误 5) 错误信息 错误码 错误原因 检查和对策 1) 基板尺寸对应的支撑销的 1) 请确认基板大小 、 支撑销的位置 。 1) 基板尺寸对应的支撑销的 位置不适当。 2) 由于异物传感器被 遮住了。 ( 传送带的幅调整动作中时 , 检出了支撑销。 ) 1) 请确认基板大小 、 支撑销的位置 。 2) 请取出异物。还是不能复原的情 况下 , 请和弊公司联络。 支撑销…

错误信息 错误码 错误原因 检查和对策
发动机原点复归未完成状
确认错误发生时的状况和错误内
发动机原点复归未完成状
态下,让位置决定动作执行
了。驱动或者软件处理有
不具合。
(发生了发动机原点复归未
完了错误。)
确认错误发生时的状况和错误内
容,请与弊社联系。
原点复归未完
了
CV1789
错
误
对
策
驱动和控制间的通信异常。
(发生命令错误。)
请确认驱动和控制之间连接的电缆。
命令
策
命令
错误
CV1790
用基板夹具检出传感器来
位置决定动作时
FOLDER
基板夹具检出传感器和原点传感
器的安装
请确认量具的位置
位置决定动作时
,
FOLDER
极限(参数设定值)超过了。
基板夹具检出传感器的破
损、传感器位置和量具的
不适当的可能性也有。另
外、原点传感器的位置异
常。
(检出驱动警报。)
器的安装
,
请确认量具的位置
。
驱动警
报:FOLDER极
限异常
CV1791
NPM–W NZ201A323C00
2-1-12-8

故障查找编辑
2-1-12
错误信息
紧急停止错误
(传送带单元错误 5)
错误信息 错误码 错误原因 检查和对策
1)
基板尺寸对应的支撑销的
1)
请确认基板大小
、
支撑销的位置
。
1)
基板尺寸对应的支撑销的
位置不适当。
2)由于异物传感器被遮住了。
(传送带的幅调整动作中时,
检出了支撑销。)
1)
请确认基板大小
、
支撑销的位置
。
2)请取出异物。还是不能复原的情
况下,请和弊公司联络。
支撑销干涉错
误
CV1794
软件处理中有不具合。
(发生了动作未定一错误。)
错误发生时的状况、错误内容确定,
请和弊社联络。
动作未定一错
误
CV1800
可视为电源电压过低或驱动
损坏。
(检出了驱动警告。)
请确认错误发生状况和内容后与本
公司联系。
驱动警告:电源
电压异常
CV1802
电压异常
NPM–W NZ201A323C00
2-1-12-9

错误信息 错误码 错误原因 检查和对策
基板支架的上升动作未在
1)
请在输出确认画面确认基板支架
基板支架的上升动作未在
所规定的时间内完成。
(基板支架的动作发生异
常。)
1)
请在输出确认画面确认基板支架
的上下动作。
2)请在输入确认画面确认基板支架
的上限和下限传感器的状态。
基板支架上升
异常
CV1806
错
误
对
策
基板支架的下降动作未在
所规定的时间内完成。
(
基板支架的动作发生异
1)请在输出确认画面确认基板支架
的上下动作。
2)
请在输入确认画面确认基板支架
策
(
基板支架的动作发生异
常。)
2)
请在输入确认画面确认基板支架
的上限和下限传感器的状态。
基板支架下降
异常
CV1807
NPM–W NZ201A323C00
2-1-12-10