NPM-W使用说明书 故障排除篇.pdf - 第105页
错 误 对 策 策 NPM–W NZ201A323C00 2-1-5 -6
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错误信息
中途停止错误
(基板传送错误 3)
错误信息 错误码 错误原因 检查和对策
基板搬送时检出了马达的
1)
请确认搬送马达
基板搬送时检出了马达的
驱动错误。
(搬送马达发生了异常。)
1)
请确认搬送马达
。
2)请确认安全盖以及非常停止开关
的状态。
3)确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
搬送马达异常
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基板搬入时超限传感器比基
板停止传感器先检出为打开。
(
基板的停止位置传感器发
1)请确认传送带上的基板和基板检
出传感器的状态。
2)
确认异常发生时的状态请和本公
(
基板的停止位置传感器发
生了错误。)
2)
确认异常发生时的状态请和本公
司联络。
基板停止位置
传感器异常
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错
误
对
策
策
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错误信息
紧急停止错误
(软件监视错误 1)
错误信息 错误码 错误原因 检查和对策
紧急停止开关被按下
1)
请将紧急停止开关向右旋进行复
紧急停止开关被按下
。
(紧急停止开关按下。)
1)
请将紧急停止开关向右旋进行复
位。(前面1个后面1个)
2)即使复位紧急停止开关也不能恢
复的情况下,有可能是开关坏了。
请跟弊公司联系。
紧急停止开关
开
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伺服开关以OFF的状态运
转。
(
伺服开关被关闭了
。
)
1)请打开伺服开关(前面一个、后
面一个)。
2)
伺服开关打开了也无法修复场
(
伺服开关被关闭了
。
)
2)
伺服开关打开了也无法修复场
合下,有可能开关坏了。确认在
机器调整的《输入确认》上伺
服开关输入的状态是处于ON的
时候为开启OFF的时候为关闭。
伺服开关开
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