SP18 维修手册.pdf - 第101页
SP18P-L 维修手册 1.8 消耗零件更换 Page 1 -61 1.8.3 基板搬送皮带·滚轮的更换 (3000 小时 ) 基板搬送皮带和基板搬 送滚轮是消耗零件,需要定 期进行更换。 使用工具 十字螺丝刀 需要时间 30 分钟 ~ 1 小时 作业工序 1. 基板搬送皮带的卸下 2. 基板搬送滚轮的更换 3. 基板搬送皮带的安装 基板搬送皮带的 卸下 1. 在 < 机器调整菜单 > 上按 UNLOCK + [ …

SP18P-L
维修手册
1.8
消耗零件更换
Page 1-60
3.
从主体的转换器拆卸背光的连接器,然后
从电缆夹具上拆卸电缆。
4.
松开背光装置的固定螺丝
后,拆卸背光
装置。
∗
只松开螺丝不能拆卸背光装置。请将背光装置
向箭头方向
滑动后,将背光装置向上方
抬起
来,然后拆卸。
5.
插入更换用的背光装置。
6.
拧紧背光装置的固定螺丝
。
∗
拧紧转矩:请用
0.196
±
0.02 N
x
m
。
7.
安装彩色接触面板的盖。
∗
拧紧转矩:请用
0.53
±
0.05 N
x
m
。
8.
将空气供给置于
ON
。
9.
将电源开关置于
ON ( I )
。
∗
请确认背光灯亮灯。
EJP1A-C-MMA01-A03-02
~
~
EJP1A-404E
连接器、电缆
固定螺丝
背光装置
2
3
1

SP18P-L
维修手册
1.8
消耗零件更换
Page 1-61
1.8.3
基板搬送皮带·滚轮的更换
(3000
小时
)
基板搬送皮带和基板搬送滚轮是消耗零件,需要定期进行更换。
使用工具
十字螺丝刀
需要时间
30
分钟
~ 1
小时
作业工序
1.
基板搬送皮带的卸下
2.
基板搬送滚轮的更换
3.
基板搬送皮带的安装
基板搬送皮带的卸下
1.
在
<
机器调整菜单
>
上按
UNLOCK
+
[
搬送
动作
]
。
•
将显示
<
基板搬送
>
画面。
2.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
支架原点复归
]
。
•
支撑板
(Z
板
)
将下降到原点的位置。
下一页
EJP1A-C-MMA01-A03-02
EJP1A-456E
基板搬送部
EJP1A-Ma-0003
2
EJP1A-Ma-0001
1

SP18P-L
维修手册
1.8
消耗零件更
换
Page 1-62
3.
将电源置于
OFF
。
请锁定电源开关。
4.
将皮带拉着取出。
在不进行处理的状态下废弃皮带时,使用钳子
等工具切掉并拆卸。
基板搬送滚轮的更换
1.
使用十字螺丝刀拆卸基板搬送滚轮。
2.
安装新的基板搬送滚轮。
EJP1A-C-MMA01-A03-04
EJP1A-017P
EJP1A-020P