SP18 维修手册.pdf - 第176页
SP18P-L 维修手册 4.2 检查和对策 Page 4-24 4.2.9 基板搬送时的错误 1. 基板搬入时 EJP1A-C-MMA04- A01-00 EJP1A-511C
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4.2
检查和对策
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驱动器错误的错误内容以及检查、对策
(
状态
3)
错误
代码
错误内容
详细
对策
(
确认事项
)
0x52
“
外部光栅尺状态
2
异常
保护
”
有可能是伺服驱动器或伺服电机
的故障导致。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
0x53
“
外部光栅尺状态
3
异常
保护
”
有可能是伺服驱动器或伺服电机
的故障导致。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
0x54
“
外部光栅尺状态
4
异常
保护
”
有可能是伺服驱动器或伺服电机
的故障导致。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
0x55
“
外部光栅尺状态
5
异常
保护
”
有可能是伺服驱动器或伺服电机
的故障导致。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
0x58
“
外部光栅尺其它异常保
护
”
有可能是伺服驱动器或伺服电机
的故障导致。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
0x82
“
节点地址设定异常
”
有可能是伺服驱动器或伺服电机
的故障导致。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
0x83
“
连续通信异常保护
”
有可能是伺服驱动器或伺服电机
的故障导致。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
0x84
“
通信超时异常保护
”
有可能是伺服驱动器或伺服电机
的故障导致。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
0x86
“
不能接收周期数据
”
有可能是伺服驱动器或伺服电机
的故障导致。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
0x87
“
紧急停止输入异常
”
有可能是伺服驱动器或伺服电机
的故障导致。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
0x95
“
电机自动识别异常保护
”
有可能是伺服驱动器或伺服电机
的故障导致。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
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基板搬送时的错误
1.
基板搬入时
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