SP18 维修手册.pdf - 第68页

SP18P-L 维修手册 1.3 24 小时检查 ( 日常 ) Page 1-28 1.3.5 基板定位升降机部的清扫 ( 结束作业时 ) 结束作业时，请清扫支撑板、夹具爪 、基板定位装置的识别用孔 。请检查基板落下防止爪。 使用工具 识别孔清扫治具 需要时间 3 ~ 4 分钟 要求 本维护是在电源开关置于 ON ( I ) 的状态下进行的作业。在可动部内进行作业时，请 务必将伺服开关置于 OFF ( O ) 后， 打开安全盖。 ( 安…

100%1 / 232
SP18P-L
维修手册
1.3 24
小时检查
(
日常
)
Page 1-27
10.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
11.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
执行
]
。
•
刮板头将返回到原来的位置。
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJP1A-C-MMA01-A02-00
EJP1A-Pc-0002
11
SP18P-L
维修手册
1.3 24
小时检查
(
日常
)
Page 1-28
1.3.5
基板定位升降机部的清扫
(
结束作业时
)
结束作业时，请清扫支撑板、夹具爪、基板定位装置的识别用孔。请检查基板落下防止爪。
使用工具
识别孔清扫治具
需要时间
3 ~ 4
分钟
要求
本维护是在电源开关置于
ON ( I )
的状态下进行的作业。在可动部内进行作业时，请
务必将伺服开关置于
OFF ( O )
后，打开安全盖。
(
安全盖打开，可动部电机的电源将被
切断。
)
1.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
2.
打开前面安全盖。
下一页
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJP1A-C-MMA01-A02-02
EJP1A-426E
支撑板
夹具爪
基板落下防止爪
SP18P-L
维修手册
1.3 24
小时检查
(
日常
)
Page 1-29
3.
清扫夹具爪、支撑板、基板定位装置识别
用孔。
∗
用
IPA
或酒精将棉纱布等弄湿后擦去附着物。
∗
请用附带的治具清扫识别用孔。
4.
关闭前面安全盖。
5.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
EJP1A-015P
1D3C-407E
识别孔清扫治具
EJP1A-C-MMA01-A02-01
O
FF ( )
ON (
)
SERVO