SP18 维修手册.pdf - 第140页
SP18P-L 维修手册 3.1 各种传感器的动作确认 Page 3-10 11. 确认在基板吸着盒上加载有基板时所显示 的值。 • 单位为 kPa 。 • 根据基板的不同有所不同，但通常为 − 80 ~ − 98 左右。 ∗ 该值极小时，基板吸着盒与基板间会产生很大 的间隙。请确认基板是否弯曲。 12. 按住键 2 秒以上。 • 进入初始设定模式，显示为 “ ” 。 13. 按键 。 • 将显示 “ ” 。 14. 按住键 2 秒以上…
SP18P-L
维修手册
3.1
各种传感器的动作确认
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7.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
基板吸附
]
，将 其
设为
ON
。
•
基板吸着盒开始吸着。
8.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
9.
打开前面安全盖。
10.
确认在未加载基板状态下所显示的值。
•
单位为
kPa
。
•
通常为
−
6 ~
−
10
左右。
下一页
1D3C-444E
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJP1A-Ma-0017
7
EJP1A-C-MMA03-A01-00
SP18P-L
维修手册
3.1
各种传感器的动作确认
Page 3-10
11.
确认在基板吸着盒上加载有基板时所显示
的值。
•
单位为
kPa
。
•
根据基板的不同有所不同，但通常为
−
80 ~
−
98
左右。
∗
该值极小时，基板吸着盒与基板间会产生很大
的间隙。请确认基板是否弯曲。
12.
按住键
2
秒以上。
•
进入初始设定模式，显示为
“
”
。
13.
按键
。
•
将显示
“
”
。
14.
按住键
2
秒以上。
•
结束初始设定。
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1D3C-445E
1D3C-445E
1D3C-446E
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1D3C-447E
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3.1
各种传感器的动作确认
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15.
按键
。
•
进入压力设定模式，交替显示
“
”
和所设定的
OUT1
的
ON
点。
16.
用键
设定下限值
(OUT1)
的
ON
点。
•
根据基板的不同有所不同，但通常设定
−
70 ~
−
80
范围内的值。
(
出厂时已设定为
-80
。
)
17.
按键
。
•
选择所显示的
ON
点，交替显示
“
”
和所设定
的
OUT1
的
OFF
点。
18.
用键
设定下限值
(OUT1)
的
OFF
点。
•
根据基板的不同有所不同，但通常设定
−
70 ~
−
80
范围内的值。
(
出厂时已设定为
-80
。
)
19.
按住键
2
秒。
•
确定下限值，返回测定模式。
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1D3C-450E
1D3C-450E
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