SP18 维修手册.pdf - 第103页
SP18P-L 维修手册 1.8 消耗零件更换 Page 1 -63 基板搬送皮带的 安装 1. 将皮带插入滚轮和导轨之间的缝隙中。 2. 将皮带安在驱动轮和张紧滑轮上。 3. 确认皮带的张力。 张力的确认、调整方法 ( 1.5.2 基板搬送皮带 的检查 ) EJP1A-017P EJP1A- C-MMA01-A0 3-02
SP18P-L
维修手册
1.8
消耗零件更
换
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3.
将电源置于
OFF
。
请锁定电源开关。
4.
将皮带拉着取出。
在不进行处理的状态下废弃皮带时，使用钳子
等工具切掉并拆卸。
基板搬送滚轮的更换
1.
使用十字螺丝刀拆卸基板搬送滚轮。
2.
安装新的基板搬送滚轮。
EJP1A-C-MMA01-A03-04
EJP1A-017P
EJP1A-020P
SP18P-L
维修手册
1.8
消耗零件更换
Page 1-63
基板搬送皮带的安装
1.
将皮带插入滚轮和导轨之间的缝隙中。
2.
将皮带安在驱动轮和张紧滑轮上。
3.
确认皮带的张力。
张力的确认、调整方法
(
1.5.2
基板搬送皮带的检查
)
EJP1A-017P
EJP1A-C-MMA01-A03-02
SP18P-L
维修手册
1.8
消耗零件更
换
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1.8.4
清洁装置过滤器的更换
(3000
小时
)
使用工具
需要时间
3 ~ 4
分钟
1.
将电源置于
OFF
。
请锁定电源开关。
2.
打开后面安全盖。
3.
打开盖。
请拆卸过滤器上部的固定爪后打开盖。
4.
更换过滤器。
5.
关闭盖。
6.
关闭后面安全盖。
EJP1A-032P
过滤器
EJP1A-C-MMA01-A03-03
EJP1A-424E
EJP1A-013P
盖
固定爪