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SP18P-L 维修手册 1.5 560 小时检查 (1 个月一次 ) Page 1-39 2. 皮带张力的检查 A) 计测位置 请在跨距的中央部进行计测。 基板定位升降机 B) 计测方法 请用手指弹皮带 ( 下图的 P 部 ) ，并使用皮带张力计 ( 频率测量器 ) 确认固有振动数是否为规格值。 请在频率测量器上输入下述参数。 皮带单位质量 : 0.07 g /cm 2 皮带宽度 : 8.5 mm 跨距长度 : 参照下图 单位 (…
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1.5 560
小
时检查
(1
个月一次
)
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1.5.2
基板搬送皮带的检查
请检查基板定位升降机的基板搬送皮带是否有异常。
使用工具
皮带张力计、扳手、六角扳手
需要时间
3 ~ 4
分钟
1.
检查皮带伤痕
1.
将电源置于
OFF
。
请锁定电源开关。
2.
打开前后面的安全盖。
3.
在各个传送带的端面，用手转动皮带进行
目测检查。
根据检查结果，需要进行更换时
(
1.8.3
基板搬送皮带·滚轮的更换
)
4.
关闭前后面的安全盖。
EJP1A-017P
EJP1A-C-MMA01-A02-02
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小时检查
(1
个月一次
)
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2.
皮带张力的检查
A)
计测位置
请在跨距的中央部进行计测。
基板定位升降机
B)
计测方法
请用手指弹皮带
(
下图的
P
部
)
，并使用皮带张力计
(
频率测量器
)
确认固有振动数是否为规格值。
请在频率测量器上输入下述参数。
皮带单位质量
:
0.07
g
/cm
2
皮带宽度
: 8.5 mm
跨距长度
:
参照下图
单位
(mm)
频率规格值
: 320 Hz
±
10 Hz
张力的调整
根据检查的结果，如果皮带的张立过大或不足时，请参照下一页，调整张力。
EJP1A-C-MMA01-A02-01
EJP1A-426E
EJP1A-476E
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小时检查
(1
个月一次
)
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3.
皮带张力的调整
搬送传送带
1.
将固定发动机托架的
4
根螺栓拧松。
2.
上下移动发动机托架进行张力调整，然后
拧紧螺栓。
EJP1A-C-MMA01-A02-02
EJP1A-018P