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SP18P-L 维修手册 4.2 检查和对策 Pa ge 4- 26 3. 基板搬送错误时 基板位置错误发生后， 如果 不拔出造成错误的基板， 就在此状态 下再开始生产的话， 无法检测留下 的基板，将搬入下一基 板，有可能使基板破损。 基板搬送错误后再开始 运转时， 指示拔 出造成错误的基板之警告 画面将被显示。 请 注意不要忘记拔 出。 ∗ 当发生基板排出错误时 也需要与上述相同的恢复步 骤。 EJP1A- C-MMA04-A0 1-…