SP18 维修手册.pdf - 第142页
SP18P-L 维修手册 3.1 各种传感器的动作确认 Page 3-12 20. 确认 LED 显示 已变为橙色。 21. 卸下基板，确认 LED 显示 已灭灯。 22. 关闭前面安全盖。 23. 将伺服开关置于 ON ( I ) 。 24. 按操作面板的 UNLOCK + [ 基板吸附 ] ，设 为 OFF 。 EJP1A-C-MMA03- A01-00 1D3C-445E 1 O FF ( ) ON ( ) S E RVO…
SP18P-L
维修手册
3.1
各种传感器的动作确认
Page 3-11
15.
按键
。
•
进入压力设定模式，交替显示
“
”
和所设定的
OUT1
的
ON
点。
16.
用键
设定下限值
(OUT1)
的
ON
点。
•
根据基板的不同有所不同，但通常设定
−
70 ~
−
80
范围内的值。
(
出厂时已设定为
-80
。
)
17.
按键
。
•
选择所显示的
ON
点，交替显示
“
”
和所设定
的
OUT1
的
OFF
点。
18.
用键
设定下限值
(OUT1)
的
OFF
点。
•
根据基板的不同有所不同，但通常设定
−
70 ~
−
80
范围内的值。
(
出厂时已设定为
-80
。
)
19.
按住键
2
秒。
•
确定下限值，返回测定模式。
下一页
EJP1A-C-MMA03-A01-01
1D3C-448E 1D3C-449E
1D3C-450E
1D3C-451E
1D3C-450E
1D3C-450E
1D3C-450E
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3.1
各种传感器的动作确认
Page 3-12
20.
确认
LED
显示
已变为橙色。
21.
卸下基板，确认
LED
显示
已灭灯。
22.
关闭前面安全盖。
23.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
24.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
基板吸附
]
，设 为
OFF
。
EJP1A-C-MMA03-A01-00
1D3C-445E
1
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
1D3C-444E
1
EJP1A-Ma-0011
24
SP18P-L
维修手册
3.1
各种传感器的动作确认
Page 3-13
3.1.3
清洁溶剂用完传感器
在此，对清洁溶剂用完传感器的调整方法进行了说明。
传感器设置位置
主机后面
各部的名称
传感器受光侧
EJP1A-C-MMA03-A01-01
1E4C-440E
动作显示灯
受光部
稳定显示灯
灵敏度调整旋钮
入光·遮光切换开关
EJP1A-022P
EJP1A-424E
传感器投光侧
传感器受光侧