SP18 维修手册.pdf - 第138页
SP18P-L 维修手册 3.1 各种传感器的动作确认 Page 3-8 4. 按主菜单的 。 • 将显示 < 机器调整菜单 > 画面。 5. 按 [ 输出确认 ] 。 • 将显示 < 输出确认 > 画面。 6. 按操作面板的 UNLOCK + [ 真空泵驱动 ] ，将 其设为 ON 。 • 真空泵开始运转。 下一页 EJP1A-C-MMA03- A01-00 EJP1A-H o-0002 4 EJP1A-C -…
SP18P-L
维修手册
3.1
各种传感器的动作确认
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1.
设定值输入
通知
在进行设定值输入之前，请安装基板吸着盒。
所使用的基板为实际生产基板，请不要使用弯曲的基板。
1.
按主菜单的
。
•
将显示
<
机器调整菜单
>
画面。
2.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
原点复归
]
。
∗
真空传感器的显示部安装在
XY
工作台的右下
部，将
XY
工作台返回到原点位置。
3.
按功能键
。
•
将返回
<
主画面
>
画面。
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EJP1A-Ho-0002
1
EJP1A-Ma-0001
3
2
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3.1
各种传感器的动作确认
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4.
按主菜单的
。
•
将显示
<
机器调整菜单
>
画面。
5.
按
[
输出确认
]
。
•
将显示
<
输出确认
>
画面。
6.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
真空泵驱动
]
，将
其设为
ON
。
•
真空泵开始运转。
下一页
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EJP1A-Ho-0002
4
EJP1A-C-Ma-0001
5
EJP1A-Ma-0030
6
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3.1
各种传感器的动作确认
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7.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
基板吸附
]
，将 其
设为
ON
。
•
基板吸着盒开始吸着。
8.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
9.
打开前面安全盖。
10.
确认在未加载基板状态下所显示的值。
•
单位为
kPa
。
•
通常为
−
6 ~
−
10
左右。
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1D3C-444E
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJP1A-Ma-0017
7
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