SP18 维修手册.pdf - 第137页
SP18P-L 维修手册 3.1 各种传感器的动作确认 Page 3-7 1. 设定值输入 通知 在进行设定值输入之前，请安装基板吸着盒。 所使用的基板为实际生产基板，请不要使用弯曲的基板。 1. 按主菜单的 。 • 将显示 < 机器调整菜单 > 画面。 2. 按操作面板的 UNLOCK + [ 原点复归 ] 。 ∗ 真空传感器的显示部安装在 XY 工作台的右下 部，将 XY 工作台返回到原点位置。 3. 按功能键 。 • …
SP18P-L
维修手册
3.1
各种传感器的动作确认
Page 3-6
3.1.2
真空传感器
在此，对基板吸着用真空传感器的调整方法进行了说明。
传感器设置位置
各部名称和作用
条形显示部
(
绿色
)
显示与压力设定值相对应的测量值为多少。
数值／菜单显示部
(
红色
)
显示测量值和进行各种设定时所用的菜单。
单位显示
(
绿色
)
显示测量单位。
LED
显示所指示的单位为当前所设定的单位。
OUT1
显示
LED (
橙色
)
OUT1
的输出变为
ON
时灯闪烁。
(
上
)
、
(
下
)
键
•
在设定模式，选择设定项目、设定内容以及变
更设定值时进行操作。
•
在测定模式中，要确认
ON
点、
OFF
点时，请
按下任意键，另外，同时按两键就会复位到零。
•
在特殊设定模式或进行省电显示时，应与
SET
键同时使用。
SET
键
•
在设定模式状态下，确定设定内容、设定值时
操作。
•
移动到初始设定模式、压力设定模式时使用。
EJP1A-C-MMA03-A01-01
1D3C-443E
1
5
3
4
2
6
EJP1A-AB
EJP1A-021P
传感器安装位置
SP18P-L
维修手册
3.1
各种传感器的动作确认
Page 3-7
1.
设定值输入
通知
在进行设定值输入之前，请安装基板吸着盒。
所使用的基板为实际生产基板，请不要使用弯曲的基板。
1.
按主菜单的
。
•
将显示
<
机器调整菜单
>
画面。
2.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
原点复归
]
。
∗
真空传感器的显示部安装在
XY
工作台的右下
部，将
XY
工作台返回到原点位置。
3.
按功能键
。
•
将返回
<
主画面
>
画面。
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EJP1A-Ho-0002
1
EJP1A-Ma-0001
3
2
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维修手册
3.1
各种传感器的动作确认
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4.
按主菜单的
。
•
将显示
<
机器调整菜单
>
画面。
5.
按
[
输出确认
]
。
•
将显示
<
输出确认
>
画面。
6.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
真空泵驱动
]
，将
其设为
ON
。
•
真空泵开始运转。
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EJP1A-Ma-0030
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