SP18 维修手册.pdf - 第55页
SP18P-L 维修手册 1.1 维护的概要 Page 1-15 : 检查 : 清扫 : 润滑脂涂敷、润滑脂注入 : 更换 7. 基板定位升降机 EJP1A-C-MMA01- A01-00 夹具爪上面的识别孔 θ 轴滚珠丝杠 升降机轴滚珠丝杠 支撑轴滚珠丝杠 θ 轴线性轴承 升降机轴上下线性轴 EJP1A-426E 基板侧夹具部线性轴承 基板落下防止爪 夹具爪 θ 轴连结部 自动宽度调整轴滚珠丝杠 自动宽度调整轴线性轴承 支撑板 基板落…
SP18P-L
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-14
:
检查
:
清扫
:
润滑脂涂敷、润滑脂注入
:
更换
5.
识别装置
6.
盖
EJP1A-C-MMA01-A01-01
装置整体
EJP1A-417E
网板识别照明盖
基板止动器尖端基板上压紧部
照相机
X
轴滚珠丝杠
照相机
Y
轴滚珠丝杠
照相机
X
轴线性轴承
照相机
Y
轴线性轴承
EJP1A-AA
盖开闭部铰链
(4
处
)
前面安全盖的安全开关
后面安全盖的安全开关
盖开闭部缓冲器支点
(4
处
)
SP18P-L
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-15
:
检查
:
清扫
:
润滑脂涂敷、润滑脂注入
:
更换
7.
基板定位升降机
EJP1A-C-MMA01-A01-00
夹具爪上面的识别孔
θ
轴滚珠丝杠
升降机轴滚珠丝杠
支撑轴滚珠丝杠
θ
轴线性轴承
升降机轴上下线性轴
EJP1A-426E
基板侧夹具部线性轴承
基板落下防止爪
夹具爪
θ
轴连结部
自动宽度调整轴滚珠丝杠
自动宽度调整轴线性轴承
支撑板
基板落下防止爪驱动部线性轴承
SP18P-L
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-16
:
检查
:
清扫
:
润滑脂涂敷、润滑脂注入
:
更换
8.
清扫装置
9.
温度调节器装置
(
选购件
)
EJP1A-001P
装置整体
过滤器
EJP1A-C-MMA01-A01-01
EJP1A-013P
EJP1A-032P
过滤器
EJP1A-412E
装置整体
吸引吸嘴
溶剂罐
EJP1A-475E
清洁溶剂供给压力
EJP1A-062P
清洁纸止动器