SP18 维修手册.pdf - 第11页

SP18P-L 维修手册 11 5. I/O MAP 6. 气压回路图 7. 回收利用索引附录 1. 产品安全数据表附录 2. 定期检查表 EJP1A-C-MMA00- A02-00

SP18P-L

维修手册

2.2

机器维护

............................................................................................................ 2-13

2.2.1

日常保养检查

................................................................................................................................... 2-13

2.2.2

消耗零件更换

................................................................................................................................... 2-15

2.3

机器参数示教

..................................................................................................... 2-16

3. 机器条件调整 .................................................. 3-1

3.1

各种传感器的动作确认

......................................................................................... 3-2

3.1.1

基板检测传感器

.................................................................................................................................. 3-2

3.1.2

真空传感器

......................................................................................................................................... 3-6

3.1.3

清洁溶剂用完传感器

........................................................................................................................ 3-13

3.2

系统版本的更新

.................................................................................................. 3-15

3.2.1

机器信息

........................................................................................................................................... 3-15

3.2.2

更新机器系统软件的准备

................................................................................................................. 3-16

3.2.3

机器系统软件的更新

........................................................................................................................ 3-18

3.2.4

构成装置的更新

............................................................................................................................... 3-20

4. 错误对策 ......................................................... 4-1

4.1

错误信息一览表

.................................................................................................... 4-2

4.1.1

错误信息一览表的利用方法

................................................................................................................ 4-2

4.1.2 SD

卡使用时的错误

............................................................................................................................. 4-3

4.1.3 PT

通信中的错误

................................................................................................................................. 4-3

4.1.4

自我诊断中的错误

.............................................................................................................................. 4-4

4.1.5

暂时停止错误

..................................................................................................................................... 4-5

4.1.6

紧急停止错误

..................................................................................................................................... 4-6

4.1.7

紧急停止的轴错误

.............................................................................................................................. 4-8

4.1.8

读取

保存文件操作的生产数据的错误

................................................................................................ 4-9

4.2

检查和对策

........................................................................................................ 4-10

4.2.1

运转空气压力异常

............................................................................................................................ 4-10

4.2.2

热断路装置

(

鼓风机

) ....................................................................................................................... 4-12

4.2.3 Blower Fan Motor ............................................................................................................................. 4-12

4.2.4

冷却风扇

.......................................................................................................................................... 4-13

4.2.5

升降机轴制动器

支撑轴制动器解除

................................................................................................. 4-14

4.2.6

热断路装置

(

真空泵

) (

选购件

) ......................................................................................................... 4-15

4.2.7

基板识别错误

................................................................................................................................... 4-16

4.2.8

驱动器错误

....................................................................................................................................... 4-17

4.2.9

基板搬送时的错误

............................................................................................................................ 4-24

4.3

负荷配置图

......................................................................................................... 4-27

4.4

负荷一览表

......................................................................................................... 4-30

4.5

机器的输入输出确认

.......................................................................................... 4-33

4.5.1

发生错误后的输入确认

..................................................................................................................... 4-33

4.5.2

发生错误后的输出确认

.................................................................................................................... 4-35

EJP1A-C-MMA00-A02-01

SP18P-L

维修手册

5. I/O MAP

6. 气压回路图

7. 回收利用

索引

附录 1. 产品安全数据表

附录 2. 定期检查表

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维修手册

备忘录

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