SP18 维修手册.pdf - 第135页
SP18P-L 维修手册 3.1 各种传感器的动作确认 Page 3-5 9. 按 [ 地址 ] 。 ∗ 将显示 < 输入确认 > 的地址画面。 10. 确认输入。 ∗ 请确认 ‘ 基板搬入减速传感器 ’ 和 ‘ 止动器部基板 检测 ’ 是否已切换为 “ON ( 反转 )” 。 • 传感器感应出支撑时，将基板定位数据支撑行 程设定为 “ 有 ( 大 )” 。 设定切口量。将止动器挪到不会感应出支撑的 位置。 ∗ 请确认传感器…
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维修手册
3.1
各种传感器的动作确认
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5.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
6.
打开前面安全盖。
7.
请拿住手柄，将照相机装置移动到基板上
方的位置。
8.
按
[
输入确认
]
。
∗
将显示
<
输入确认
>
的一览画面。
下一页
OFF ( )
ON ( )
SERVO
EJP1A-Ma-0001
8
EJP1A-C-MMA03-A01-00
EJP1A-057P
手柄
SP18P-L
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3.1
各种传感器的动作确认
Page 3-5
9.
按
[
地址
]
。
∗
将显示
<
输入确认
>
的地址画面。
10.
确认输入。
∗
请确认
‘
基板搬入减速传感器
’
和
‘
止动器部基板
检测
’
是否已切换为
“ON (
反转
)”
。
•
传感器感应出支撑时，将基板定位数据支撑行
程设定为
“
有
(
大
)”
。
设定切口量。将止动器挪到不会感应出支撑的
位置。
∗
请确认传感器是否不感应出支撑。
11.
在
<
输入确认
>
的地址画面上同样地确认
基板检测
(
左
)
、基板检测
(
右
)
。
12.
关闭前面安全盖。
13.
伺服开关设为
ON ( I )
。
14.
按功能键的
。
•
将返回
<
机器调整菜单
>
画面。
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJP1A-C-MMA03-A01-00
EJP1A-Ma-0009
9
EJP1A-Ma-0010
EJP1A-Ma-0010
14
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3.1
各种传感器的动作确认
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3.1.2
真空传感器
在此，对基板吸着用真空传感器的调整方法进行了说明。
传感器设置位置
各部名称和作用
条形显示部
(
绿色
)
显示与压力设定值相对应的测量值为多少。
数值／菜单显示部
(
红色
)
显示测量值和进行各种设定时所用的菜单。
单位显示
(
绿色
)
显示测量单位。
LED
显示所指示的单位为当前所设定的单位。
OUT1
显示
LED (
橙色
)
OUT1
的输出变为
ON
时灯闪烁。
(
上
)
、
(
下
)
键
•
在设定模式，选择设定项目、设定内容以及变
更设定值时进行操作。
•
在测定模式中，要确认
ON
点、
OFF
点时，请
按下任意键，另外，同时按两键就会复位到零。
•
在特殊设定模式或进行省电显示时，应与
SET
键同时使用。
SET
键
•
在设定模式状态下，确定设定内容、设定值时
操作。
•
移动到初始设定模式、压力设定模式时使用。
EJP1A-C-MMA03-A01-01
1D3C-443E
1
5
3
4
2
6
EJP1A-AB
EJP1A-021P
传感器安装位置