SP18 维修手册.pdf - 第54页
SP18P-L 维修手册 1.1 维护的概要 Page 1-14 : 检查 : 清扫 : 润滑脂涂敷、润滑脂注入 : 更换 5. 识别装置 6. 盖 EJP1A-C-MMA01-A01-01 装置整体 EJP1A-417E 网板识别照明盖 基板止动器尖端基板上压紧部 照相机 X 轴滚珠丝杠 照相机 Y 轴滚珠丝杠 照相机 X 轴线性轴承 照相机 Y 轴线性轴承 EJP1A-AA 盖开闭部铰链 (4 处 ) 前面安全盖的安全开关 后面安全…
SP18P-L
维修手册
1.1
维护的概要
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:
检查
:
清扫
:
润滑脂涂敷、润滑脂注入
:
更换
3.
刮板头
4.
刮板驱动装置
EJP1A-417E
刮板轴滚珠丝杠
刮板轴线性轴承
EJP1A-C-MMA01-A01-00
EJP1A-470E
刮板刀刃
刮板支架
EJP1A-410E
装置整体
刮板上下线性轴
SP18P-L
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-14
:
检查
:
清扫
:
润滑脂涂敷、润滑脂注入
:
更换
5.
识别装置
6.
盖
EJP1A-C-MMA01-A01-01
装置整体
EJP1A-417E
网板识别照明盖
基板止动器尖端基板上压紧部
照相机
X
轴滚珠丝杠
照相机
Y
轴滚珠丝杠
照相机
X
轴线性轴承
照相机
Y
轴线性轴承
EJP1A-AA
盖开闭部铰链
(4
处
)
前面安全盖的安全开关
后面安全盖的安全开关
盖开闭部缓冲器支点
(4
处
)
SP18P-L
维修手册
1.1
维护的概要
Page 1-15
:
检查
:
清扫
:
润滑脂涂敷、润滑脂注入
:
更换
7.
基板定位升降机
EJP1A-C-MMA01-A01-00
夹具爪上面的识别孔
θ
轴滚珠丝杠
升降机轴滚珠丝杠
支撑轴滚珠丝杠
θ
轴线性轴承
升降机轴上下线性轴
EJP1A-426E
基板侧夹具部线性轴承
基板落下防止爪
夹具爪
θ
轴连结部
自动宽度调整轴滚珠丝杠
自动宽度调整轴线性轴承
支撑板
基板落下防止爪驱动部线性轴承