SP18 维修手册.pdf - 第169页
SP18P-L 维修手册 4.2 检查和对策 Page 4-17 4.2.8 驱动器错误 1. 错误代码的确认 发生驱动器错误时，请按照以下的步骤确认发生错误的轴和错误代码。 1. 按主菜单的 。 • 将显示 < 机器调整菜单 > 画面。 2. 按机器调整菜单的 [ 轴信息 ] 。 3. 确认状态信息的状态 2 和状态 3 的信息 ( 错误代码 ) 。 ∗ 关于错误代码的内容、处理方法请参照下一页 以后的驱动器错误的错 误内…
SP18P-L
维修手册
4.2
检查和对策
Page 4-16
4.2.7
基板识别错误
1.
通过微调把相机移动至识别标记的位置，并进行再识别
(
图
1)
确认错误画面，识别标记不在识别画面的中央时，用
UNLOCK
+
把识别标记移至中央，请按下
UNLOCK
+
[
再识别
]
。运转重新开始。
∗
如果将图像的移动率设为
‘
直接
’
，仅按一次画面的识别标记部分，识别标记就将会返回到画面中央。
2.
清扫识别相机或基板后进行再识别
(
图
2)
确认错误画面，识别标记脏污时要擦拭干净，请按下
UNLOCK
+
[
再识别
]
。运转重新开始。
3.
输入正确的坐标之后进行再识别
∗
当再次发生识别错误时，请选择
[
不识别
]
或者
[
通过
]
。
要自动运转和中止示教时，请按
。
(
图
1)
(
图
2)
[
再识别
]
[
图像移动率
]
将会再次进行基板识别。
每按一次按钮
，将进行一次移动量的设定。
低
: 0.005 mm,
中
: 0.05 mm,
高
: 0.5 mm
[
不识别
]
照相机不进行识别，进入下一个动作。
直接
:
直接按识别标记，将其移到画面中央。
[
通过
]
[ (
红色箭头
)]
将显示拔出基板的指示画面。
按照
(
红色箭头
)
的方向移动识别画面。
EJP1A-Pr-0009
EJP1A-Pr-0009
EJP1A-C-MMA04-A01-00
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检查和对策
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4.2.8
驱动器错误
1.
错误代码的确认
发生驱动器错误时，请按照以下的步骤确认发生错误的轴和错误代码。
1.
按主菜单的 。
•
将显示
<
机器调整菜单
>
画面。
2.
按机器调整菜单的
[
轴信息
]
。
3.
确认状态信息的状态
2
和状态
3
的信息
(
错误代码
)
。
∗
关于错误代码的内容、处理方法请参照下一页
以后的驱动器错误的错误内容以及检查、对策。
EJP1A-Ma-0001
1
2
EJP1A-Ma-0012
EJP1A-C-MMA04-A01-00
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驱动器错误的错误内容以及检查、对策
(
状态
2)
在轴信息画面的状态
2
上显示联锁错误、参数
(
指令
)
设定错误的信息。
错误
代码
错误内容
详细
对策
(
确认事项
)
0x601
“
基板输送联锁错误
(
左
)”
轴动作中，设置在左基板输送部的
基板检测传感器
(
输入
I/O:NO.32)
被遮光。
请确认是否有遮住基板检测传感器的物
品
(
基板等
)
。如果错误再次发生时，请确
认传感器的连线。
0x602
“
基板输送联锁错误
(
右
)”
轴动作中，设置在右基板输送部的
基板检测传感器
(
输入
I/O:NO.33)
被遮光。
请确认是否有遮住基板检测传感器的物
品
(
基板等
)
。如果错误再次发生时，请确
认传感器的连线。
0x603
“
宽度调整轴联锁错误
”
传送带的宽度调整中，检测出支撑
销等异物，宽度调整轴夹住检测传
感器
(
输入
I/O:NO.25)
被遮光。
1)
请确认基板数据中基板宽度的设定。
2)
支架在基板
Y
方向的尺寸之外时，请将
其移动到基板尺寸内。
0x604
“
支撑轴联锁错误
(
可动
侧
)”
支撑轴的动作中，检查有无夹住基
板或扳手等异物的传感器
(
输入
I/O:NO.26)
被遮光。
1)
如果基板落到传送带上时，请取出基
板。
2)
请确认支撑装置
(
支撑块、支撑销等
)
的安装位置。
3)
在传送带上落有工具等时，请清除。
4)
请确认传感器的连线以及传感器是否
损坏。
0x605
“
支撑轴联锁错误
(
固定
侧
)”
支撑轴动作中，检测基板等异物夹
入情况的传感器
(
输入
I/O:NO.31)
被遮光。
1)
如果基板落到传送带上时，请取出基
板。
2)
请确认支撑装置
(
支撑块、支撑销等
)
的安装位置。
3)
在传送带上落有工具等时，请清除。
4)
请确认传感器的连线以及传感器是否
损坏。
0x606
“
基板止动器联锁错误
”
轴动作中，因基板止动器上升检测
传感器
(
输入
I/O:NO.11)
未设置
为
ON
，而发生该错误。基板止动
器仍处于下降状态。
请确认是否正确供给空气，或止动器上升
检测传感器是否断线或损坏。
0x607
“
主气压联锁错误
”
轴动作中，主气压降低。
1)
请确认是否正确供给空气。
2)
请确认配管是否漏气。
3)
请确认主气压
(
输入
I/O:NO.23)
的传
感器是否损坏或断线。
0x609
“
前面上盖打开联锁错误
”
轴动作中，前面上盖被打开。
关闭前面上盖后，重新开始运转。
EJP1A-C-MMA04-A01-00