SP18 维修手册.pdf - 第90页
SP18P-L 维修手册 1.6 1500 小 时检查 (3 个月 1 次 ) Page 1-50 1.6.2 基板定位升降机的清扫和注油 使用工具 十字螺丝刀 需要时间 15 分钟 1. 将电源置于 OFF 。 请锁定电源开关。 2. 打开前后面的安全盖。 3. 请清扫轴承、线性轴承、滚珠丝杠、线性 轴、旋转部并涂敷润滑脂。 自动宽度调整用滚珠丝杠 请在滚珠丝杠上涂敷润滑脂。 自动宽度调整用线性轴承 请在轨道上涂敷…
SP18P-L
维修手册
1.6 1500
小时检查
(3
个月
1
次
)
Page 1-49
4.
打开前面安全盖。
5.
拆卸刮板头盖。
6.
请清扫线性轴并注油。
∗
刮板头部线性轴
请在线性轴上涂敷润滑脂。
∗
请不要向汽缸的轴注油。
•
安装刮板头盖。
7.
关闭前面安全盖。
8.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJP1A-C-MMA01-A03-02
EJP1A-441E
EJP1A-410E
刮板头部线性轴
SP18P-L
维修手册
1.6 1500
小
时检查
(3
个月
1
次
)
Page 1-50
1.6.2
基板定位升降机的清扫和注油
使用工具
十字螺丝刀
需要时间
15
分钟
1.
将电源置于
OFF
。
请锁定电源开关。
2.
打开前后面的安全盖。
3.
请清扫轴承、线性轴承、滚珠丝杠、线性
轴、旋转部并涂敷润滑脂。
自动宽度调整用滚珠丝杠
请在滚珠丝杠上涂敷润滑脂。
自动宽度调整用线性轴承
请在轨道上涂敷润滑脂。
基板侧夹具部线性轴承
请在轨道上涂敷润滑脂。
升降机线性轴
(4
处
)
请在线性轴上涂敷润滑脂。
轴连结部
请在轨道上涂敷润滑脂。
轴线性轴承
请在轴承部上涂敷润滑脂。
基板落下防止爪驱动部线性轴承
请在轴承部上涂敷润滑脂。
维修
轴
、
时，请先拆卸盖后进行作业。
(M4
螺栓
2
根
)
4.
关闭前后面的安全盖。
EJP1A-C-MMA01-A03-03
EJP1A-426E
自动宽度调整用线性轴承
基板侧夹具部线性轴承
升降机线性轴
轴连结部
基板落下防止爪驱动部线性轴承
自动宽度调整用滚珠丝杠
轴线性轴承
EJP1A-464E
盖
SP18P-L
维修手册
1.6 1500
小时检查
(3
个月
1
次
)
Page 1-51
1.6.3
识别装置
(X
、
Y
轴线性轴承
)
的清扫和注油
本装置用于移动识别基板和网板的照相机。
使用工具
需要时间
5
分钟
要求
本维护是在电源开关置于
ON ( I )
的状态下进行的作业。在可动部内进行作业时，请
务必将伺服开关置于
OFF ( O )
后，打开安全盖。
(
安全盖打开，可动部电机的电源将被
切断。
)
1.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
2.
打开前后面的安全盖。
3.
取下前后面的盖。
注
)
前面盖是将电源开关置于
OFF
后才能拆
卸。
此盖由螺丝固定。
4.
请清扫线性轴承并注油。
照相机
X
轴线性轴承
请向润滑脂注入口
(2
处
)
注油。
照相机
Y
轴线性轴承
请向润滑脂注入口
(4
处
)
注油。
5.
安装前后面的盖。
6.
关闭前后面的安全盖。
7.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJP1A-C-MMA01-A03-02
EJP1A-416E
1
2
2
EJP1A-417E
3
4