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SP18P-L 维修手册 4.2 检查和对策 Page 4 -25 2. 基板搬出时 EJP1A- C-MMA04-A0 1-01 EJP1A-512C
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维修手册
4.2
检查和对策
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4.2.9
基板搬送时的错误
1.
基板搬入时
EJP1A-C-MMA04-A01-00
EJP1A-511C
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维修手册
4.2
检查和对策
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2.
基板搬出时
EJP1A-C-MMA04-A01-01
EJP1A-512C
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维修手册
4.2
检查和对策
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3.
基板搬送错误时
基板位置错误发生后，如果不拔出造成错误的基板，就在此状态下再开始生产的话，无法检测留下
的基板，将搬入下一基板，有可能使基板破损。
基板搬送错误后再开始运转时，指示拔出造成错误的基板之警告画面将被显示。请注意不要忘记拔
出。
∗
当发生基板排出错误时也需要与上述相同的恢复步骤。
EJP1A-C-MMA04-A01-01
EJP1A-Pr-0021