SP18 维修手册.pdf - 第167页
SP18P-L 维修手册 4.2 检查和对策 Page 4-15 4.2.6 热断路装置 ( 真空泵 ) ( 选购件 ) 复位真空泵用热控开关 卸下后面的盖，按下复位键。 如果不待真空泵冷却后重新运转的话 ，将再次发生异常，因此， 请等真空泵冷却后重新开始运转 。 发生故障时，需要进行更换，请与本 公司联络。 热控开关 EJP1A-C-MMA04-A01-01 EJP1A-AB EJP1A-038P
SP18P-L
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4.2
检查和对策
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4.2.5
升降机轴制动器
/
支撑轴制动器解除
为了维护，升降机轴、支撑轴的制动器有解除的必要时进行。
1.
按主菜单的 。
•
将显示
<
机器调整菜单
>
画面。
2.
按
[
输出确认
]
。
•
将显示
<
输出确认
>
画面。
3.
按输出确认的
[
环形
I/O]
。
4.
将要解除制动器的项目设为
ON
。
•
按操作面板的
UNLOCK
+
[
升降机轴制动解除
]
，
将其设为
ON
。
•
按操作面板的
UNLOCK
+
[
支撑轴制动解除
]
，
将其设为
ON
。
∗
制动将被解除。
EJP1A-C-MMA04-A01-00
EJP1A-Ho-0002
1
EJP1A-Ma-0001
2
EJP1A-Ma-0017
3
EJP1A-Ma-0030
4
SP18P-L
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检查和对策
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4.2.6
热断路装置
(
真空泵
) (
选购件
)
复位真空泵用热控开关
卸下后面的盖，按下复位键。
如果不待真空泵冷却后重新运转的话，将再次发生异常，因此，请等真空泵冷却后重新开始运转。
发生故障时，需要进行更换，请与本公司联络。
热控开关
EJP1A-C-MMA04-A01-01
EJP1A-AB
EJP1A-038P
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4.2.7
基板识别错误
1.
通过微调把相机移动至识别标记的位置，并进行再识别
(
图
1)
确认错误画面，识别标记不在识别画面的中央时，用
UNLOCK
+
把识别标记移至中央，请按下
UNLOCK
+
[
再识别
]
。运转重新开始。
∗
如果将图像的移动率设为
‘
直接
’
，仅按一次画面的识别标记部分，识别标记就将会返回到画面中央。
2.
清扫识别相机或基板后进行再识别
(
图
2)
确认错误画面，识别标记脏污时要擦拭干净，请按下
UNLOCK
+
[
再识别
]
。运转重新开始。
3.
输入正确的坐标之后进行再识别
∗
当再次发生识别错误时，请选择
[
不识别
]
或者
[
通过
]
。
要自动运转和中止示教时，请按
。
(
图
1)
(
图
2)
[
再识别
]
[
图像移动率
]
将会再次进行基板识别。
每按一次按钮
，将进行一次移动量的设定。
低
: 0.005 mm,
中
: 0.05 mm,
高
: 0.5 mm
[
不识别
]
照相机不进行识别，进入下一个动作。
直接
:
直接按识别标记，将其移到画面中央。
[
通过
]
[ (
红色箭头
)]
将显示拔出基板的指示画面。
按照
(
红色箭头
)
的方向移动识别画面。
EJP1A-Pr-0009
EJP1A-Pr-0009
EJP1A-C-MMA04-A01-00