SP18 维修手册.pdf - 第102页
SP18P-L 维修手册 1.8 消耗零件更 换 Page 1-62 3. 将电源置于 OFF 。 请锁定电源开关。 4. 将皮带拉着取出。 在不进行处理的状态下废弃皮带时， 使用钳子 等工具切掉并拆卸。 基板搬送滚轮的更换 1. 使用十字螺丝刀拆卸基板搬送滚轮。 2. 安装新的基板搬送滚轮。 EJP1A-C-MMA01-A03-04 EJP1A-017P EJP1A-020P
SP18P-L
维修手册
1.8
消耗零件更换
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1.8.3
基板搬送皮带·滚轮的更换
(3000
小时
)
基板搬送皮带和基板搬送滚轮是消耗零件，需要定期进行更换。
使用工具
十字螺丝刀
需要时间
30
分钟
~ 1
小时
作业工序
1.
基板搬送皮带的卸下
2.
基板搬送滚轮的更换
3.
基板搬送皮带的安装
基板搬送皮带的卸下
1.
在
<
机器调整菜单
>
上按
UNLOCK
+
[
搬送
动作
]
。
•
将显示
<
基板搬送
>
画面。
2.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
支架原点复归
]
。
•
支撑板
(Z
板
)
将下降到原点的位置。
下一页
EJP1A-C-MMA01-A03-02
EJP1A-456E
基板搬送部
EJP1A-Ma-0003
2
EJP1A-Ma-0001
1
SP18P-L
维修手册
1.8
消耗零件更
换
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3.
将电源置于
OFF
。
请锁定电源开关。
4.
将皮带拉着取出。
在不进行处理的状态下废弃皮带时，使用钳子
等工具切掉并拆卸。
基板搬送滚轮的更换
1.
使用十字螺丝刀拆卸基板搬送滚轮。
2.
安装新的基板搬送滚轮。
EJP1A-C-MMA01-A03-04
EJP1A-017P
EJP1A-020P
SP18P-L
维修手册
1.8
消耗零件更换
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基板搬送皮带的安装
1.
将皮带插入滚轮和导轨之间的缝隙中。
2.
将皮带安在驱动轮和张紧滑轮上。
3.
确认皮带的张力。
张力的确认、调整方法
(
1.5.2
基板搬送皮带的检查
)
EJP1A-017P
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