SP18 维修手册.pdf - 第179页
SP18P-L 维修手册 4.3 负荷配置图 Page 4-27 4. 4.3 负荷配置图 EJP1A-C-MMA04-A02-01 主体部 EJP1A-444E -S22 -S31 -S32 -B21 -K45 -K42 -K31 -K32 -A2 -K41 -K44 -K46 -K47 -K43 -F4010 -F401 1 -K4012 -F301 -F4014 -F4120 -F4121 -F4013 EJP1A-445E …
SP18P-L
维修手册
4.2
检查和对策
Page 4-26
3.
基板搬送错误时
基板位置错误发生后，如果不拔出造成错误的基板，就在此状态下再开始生产的话，无法检测留下
的基板，将搬入下一基板，有可能使基板破损。
基板搬送错误后再开始运转时，指示拔出造成错误的基板之警告画面将被显示。请注意不要忘记拔
出。
∗
当发生基板排出错误时也需要与上述相同的恢复步骤。
EJP1A-C-MMA04-A01-01
EJP1A-Pr-0021
SP18P-L
维修手册
4.3
负荷配置图
Page 4-27
4.
4.3
负荷配置图
EJP1A-C-MMA04-A02-01
主体部
EJP1A-444E
-S22
-S31
-S32
-B21
-K45
-K42
-K31
-K32
-A2
-K41
-K44
-K46
-K47
-K43
-F4010
-F4011
-K4012
-F301
-F4014
-F4120
-F4121
-F4013
EJP1A-445E
基板定位升降机
EJP1A-446E
EJP1A-449E
XY
工作台
EJP1A-450E
SP18P-L
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4.3
负荷配置图
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基板搬送部
识别装置
清扫装置
通用网板支座
EJP1A-452E
EJP1A-453E
刮板头
EJP1A-455E
EJP1A-457E
EJP1A-461E
EJP1A-C-MMA04-A02-00