SP18 维修手册.pdf - 第170页
SP18P-L 维修手册 4.2 检查和对策 Page 4-18 驱动器错误的错误内容以及检查、对策 ( 状态 2) 在轴信息画面的状态 2 上显示联锁错误、参数 ( 指令 ) 设定错误的信息。 错误 代码 错误内容 详细 对策 ( 确认事项 ) 0x601 “ 基板输送联锁错误 ( 左 )” 轴动作中， 设置在左基板 输送部的 基板检测传感器 ( 输入 I/O:NO.32) 被遮光。 请确认是否有遮住基板检测传感器的物 品 ( 基…
SP18P-L
维修手册
4.2
检查和对策
Page 4-17
4.2.8
驱动器错误
1.
错误代码的确认
发生驱动器错误时，请按照以下的步骤确认发生错误的轴和错误代码。
1.
按主菜单的 。
•
将显示
<
机器调整菜单
>
画面。
2.
按机器调整菜单的
[
轴信息
]
。
3.
确认状态信息的状态
2
和状态
3
的信息
(
错误代码
)
。
∗
关于错误代码的内容、处理方法请参照下一页
以后的驱动器错误的错误内容以及检查、对策。
EJP1A-Ma-0001
1
2
EJP1A-Ma-0012
EJP1A-C-MMA04-A01-00
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4.2
检查和对策
Page 4-18
驱动器错误的错误内容以及检查、对策
(
状态
2)
在轴信息画面的状态
2
上显示联锁错误、参数
(
指令
)
设定错误的信息。
错误
代码
错误内容
详细
对策
(
确认事项
)
0x601
“
基板输送联锁错误
(
左
)”
轴动作中，设置在左基板输送部的
基板检测传感器
(
输入
I/O:NO.32)
被遮光。
请确认是否有遮住基板检测传感器的物
品
(
基板等
)
。如果错误再次发生时，请确
认传感器的连线。
0x602
“
基板输送联锁错误
(
右
)”
轴动作中，设置在右基板输送部的
基板检测传感器
(
输入
I/O:NO.33)
被遮光。
请确认是否有遮住基板检测传感器的物
品
(
基板等
)
。如果错误再次发生时，请确
认传感器的连线。
0x603
“
宽度调整轴联锁错误
”
传送带的宽度调整中，检测出支撑
销等异物，宽度调整轴夹住检测传
感器
(
输入
I/O:NO.25)
被遮光。
1)
请确认基板数据中基板宽度的设定。
2)
支架在基板
Y
方向的尺寸之外时，请将
其移动到基板尺寸内。
0x604
“
支撑轴联锁错误
(
可动
侧
)”
支撑轴的动作中，检查有无夹住基
板或扳手等异物的传感器
(
输入
I/O:NO.26)
被遮光。
1)
如果基板落到传送带上时，请取出基
板。
2)
请确认支撑装置
(
支撑块、支撑销等
)
的安装位置。
3)
在传送带上落有工具等时，请清除。
4)
请确认传感器的连线以及传感器是否
损坏。
0x605
“
支撑轴联锁错误
(
固定
侧
)”
支撑轴动作中，检测基板等异物夹
入情况的传感器
(
输入
I/O:NO.31)
被遮光。
1)
如果基板落到传送带上时，请取出基
板。
2)
请确认支撑装置
(
支撑块、支撑销等
)
的安装位置。
3)
在传送带上落有工具等时，请清除。
4)
请确认传感器的连线以及传感器是否
损坏。
0x606
“
基板止动器联锁错误
”
轴动作中，因基板止动器上升检测
传感器
(
输入
I/O:NO.11)
未设置
为
ON
，而发生该错误。基板止动
器仍处于下降状态。
请确认是否正确供给空气，或止动器上升
检测传感器是否断线或损坏。
0x607
“
主气压联锁错误
”
轴动作中，主气压降低。
1)
请确认是否正确供给空气。
2)
请确认配管是否漏气。
3)
请确认主气压
(
输入
I/O:NO.23)
的传
感器是否损坏或断线。
0x609
“
前面上盖打开联锁错误
”
轴动作中，前面上盖被打开。
关闭前面上盖后，重新开始运转。
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4.2
检查和对策
Page 4-19
驱动器错误的错误内容以及检查、对策
(
状态
2)
错误
代码
错误内容
详细
对策
(
确认事项
)
0x60a
“
前面下盖打开联锁错误
”
轴动作中，前面下盖被打开。
关闭前面下盖后，重新开始运转。
0x60b
“
后盖打开联锁错误
”
轴动作中，后盖被打开。
关闭后盖后，重新开始运转。
0x60c
“
基板输送口联锁错误
(
左
)”
轴动作中，因左基板输送部的安
全挡板落下，使得基板输送口安
全传感器左
(
输入
I/O:NO.55)
被
遮光。
请升起安全挡板，确认安全传感器设置为
ON
后，重新开始运转。
0x60d
“
基板输送口联锁错误
(
右
)”
轴动作中，因右基板输送部的安
全挡板落下，使得基板输送口安
全传感器右
(
输入
I/O:NO.56)
被
遮光。
请升起安全挡板，确认安全传感器设置为
ON
后，重新开始运转。
0x60e
“
升降机轴制动器解除联
锁错误
”
升降机轴动作中，升降机轴制动
器被解除。
请在机器调整菜单的输出确认画面中，将
升降机轴制动器解除
(NO.44)
设为
OFF
后，重新开始运转。
0x60f
“
支撑轴制动器解除联锁
错误
”
支撑轴动作中，支撑轴制动器被
解除。
请在机器调整菜单的输出确认画面中，将
支撑轴制动器解除
(NO.45)
设为
OFF
后，重新开始运转。
0x611
“
升降机照相机
XY
轴位置
联锁错误
”
升降机轴动作中，升降机有可能
上升到升降机和照相机发生干扰
的区域，所以请在发生干扰前将
动作中的所有轴紧急停止。
首先请将照相机
Y
轴移动到粗原点传感器
位置。其次将照相机
X
轴移动到
200 mm
~ 250 mm
间的位置
(
中央附近
) (
在机器
调整菜单的轴信息画面中，可确认轴的位
置信息
)
。移动照相机后，请重新开始运转。
0x612
“
照相机
XY
轴不能动作区
域发生联锁错误
”
照相机轴动作中，当照相机到达
会发生物理干涉的区域附近时，
动作中的所有轴紧急停止。
请将照相机
Y
轴移动到粗原点传感器位
置。移动照相机后，请重新开始运转。
0x680
“
伺服
OFF
联锁错误
”
轴动作中，伺服开关被置于
OFF
。 请将伺服开关置于
ON
后，重新开始运转。
0x6f0
“
瞬时停电联锁错误
”
轴动作中，发生瞬时停电。
将机器的电源置于
OFF
后，请重新启动
机器。如果重新启动后还是发生错误，请
与本公司联系。
0x201
“
数据设置命令未发出错
误
”
轴动作时，对轴没有设定正确的
数据
(
数据的组合不一致
)
，所以
不能进行轴动作。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
0x202
“
速度指令零错误
”
进行轴动作时，轴的速度参数被
设定为零，所以轴不能动作。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
0x203
“
加速度指令零错误
”
进行轴动作时，轴的加速度被设
定为零，所以轴不能动作。
机器电源
OFF
后，再次发生同样错误时，
请与本公司联系。
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