SP18 维修手册.pdf - 第139页
SP18P-L 维修手册 3.1 各种传感器的动作确认 Page 3-9 7. 按操作面板的 UNLOCK + [ 基板吸附 ] ，将 其 设为 ON 。 • 基板吸着盒开始吸着。 8. 将伺服开关置于 OFF (O) 。 9. 打开前面安全盖。 10. 确认在未加载基板状态下所显示的值。 • 单位为 kPa 。 • 通常为 − 6 ~ − 10 左右。 下一页 1D3C-444E O FF ( ) ON ( ) S E RVO EJP…
SP18P-L
维修手册
3.1
各种传感器的动作确认
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4.
按主菜单的
。
•
将显示
<
机器调整菜单
>
画面。
5.
按
[
输出确认
]
。
•
将显示
<
输出确认
>
画面。
6.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
真空泵驱动
]
，将
其设为
ON
。
•
真空泵开始运转。
下一页
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EJP1A-Ho-0002
4
EJP1A-C-Ma-0001
5
EJP1A-Ma-0030
6
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3.1
各种传感器的动作确认
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7.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
基板吸附
]
，将 其
设为
ON
。
•
基板吸着盒开始吸着。
8.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
9.
打开前面安全盖。
10.
确认在未加载基板状态下所显示的值。
•
单位为
kPa
。
•
通常为
−
6 ~
−
10
左右。
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O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJP1A-Ma-0017
7
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3.1
各种传感器的动作确认
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11.
确认在基板吸着盒上加载有基板时所显示
的值。
•
单位为
kPa
。
•
根据基板的不同有所不同，但通常为
−
80 ~
−
98
左右。
∗
该值极小时，基板吸着盒与基板间会产生很大
的间隙。请确认基板是否弯曲。
12.
按住键
2
秒以上。
•
进入初始设定模式，显示为
“
”
。
13.
按键
。
•
将显示
“
”
。
14.
按住键
2
秒以上。
•
结束初始设定。
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