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11 MODEL TPM-200F/R 0207-001 Fig. B テーブル部 T ABLE SECTION
MEMO
11
MODEL TPM-200F/R
0207-001
Fig. B テーブル部 TABLE SECTION
MODEL TPM-200F/R
0207-001
12
テーブル部 TABLE SECTION
Fig. B-1 Z 軸駆動部 Z Axis Driver
79
80
7
18
82
81
1
76
71
70
5
12
62
61
63
65
68
64
67
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72
65
66
64
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4
3
14
2
65
68
64
13
74
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4
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74
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3
14
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4
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6
6
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11
10
9
17
84
83
85
8
64
69
4
78
77
Fig.B-1
TPM-200F/R