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MODEL TPM-200F 0209-001 Key No . P AR T No. P AR T NAME Q’ty REMARKS NOTE 43 E-5 40 1 630 108 4831 SENSOR,PHOTO 1 BPH061, B061 782E--1 10-401 40 2 630 032 5287 SENSOR,PHOTO 1 BPH251 782E--1 10-402 40 3 630 108 4817 MECH …
MODEL TPM-200F
0209-001
42
チャック部（手前基準） CHUCK SECTION（Front Reference）
Fig. E-5 チャックベース周辺部 Chuck Base Periphery
Fig.E-5
TPM-200F
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See Fig.F-1
Key No.20
See Fig.E-1
Key No.214
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MODEL TPM-200F
0209-001
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
43
E-5
401 630 108 4831 SENSOR,PHOTO 1 BPH061, B061 782E--110-401
402 630 032 5287 SENSOR,PHOTO 1 BPH251 782E--110-402
403 630 108 4817 MECH PARTS(BEAR) 1 782E--110-403
404 630 107 5761 BRACKET 1 782E--110-404
405 630 107 5778 COVER 1 782E--110-405
406 630 107 5259 PLATE 1 782E--110-406
407 630 107 5327 PLATE 1 782E--110-407
408 630 107 5815 BRACKET 1 782E--110-408
409 630 107 5822 COVER 1 782E--110-409
410 630 107 5419 BRACKET 1 782E--110-410
411 630 107 5426 BRACKET 1 782E--110-411
412 630 107 5808 BRACKET 1 782E--110-412
413 630 107 9370 PLATE 1 782E--110-413
414 630 110 1279 SENSOR,PELEC(SPACER) 1 782E--110-414
415 630 115 3827 SENSOR,PELEC(SLIT) 1 782E--110-415
461 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 9 782E--110-461
462 411 141 2806 WASHER SPR 3 9 782E--110-462
463 630 000 7503 BOLT,HEX-SCT 5 782E--110-463
464 411 050 5004 SCR TRS 3X6 3 782E--110-464
465 411 119 1909 WASHER V 3X7X0.5 6 782E--110-465
466 411 086 4408 WASHER SPR 3 6 782E--110-466
467 411 041 8908 SCR PAN 3X6 2 782E--110-467
468 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 2 782E--110-468
469 411 051 1708 SCR TRS 4X6 2 782E--110-469
470 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 6 782E--110-470
471 411 141 2905 WASHER SPR 4 6 782E--110-471
472 630 000 7633 BOLT,HEX-SCT 2 782E--110-472
473 630 000 7510 BOLT,HEX-SCT 2 782E--110-473
474 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 4 782E--110-474
475 411 141 4107 WASHER V 5X10X1 4 782E--110-475
476 411 141 6705 WASHER SPR 5 4 782E--110-476
477 630 000 7732 BOLT,HEX-SCT 4 782E--110-477
478 630 000 7619 BOLT,HEX-SCT 2 782E--110-478
479 411 042 0703 SCR PAN 3X8 4 782E--110-479
MODEL TPM-200F
0207-001
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チャック部（手前基準） CHUCK SECTION（Front Reference）
Fig. E-6 エア配管 Air Piping
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Fig.E-6
TPM-200F/R
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See Fig K-1
Key No.1
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