KE-3010_MS参数.pdf - 第139页
MS 参数 7-6 ＜操作 ・ 1/5 ＞ 如 Head 上安装有吸嘴 ，请用简易控制卸 下吸嘴。 按下 “ 操作 ” 框内的确认按钮后，即 测定 “ 到达真空状况 ” 。 计测结束后，会显示以 下图表。
MS
参数
7-5
7-3
真空校准
7-3-1
功能
对出厂前在工厂内取得MS参数的真空值，与以真空校准取得的当前的装置值作比较，进行故障
解析。
以MS参数取得真空值的操作一般仅在工厂内进行，不必重新取得。
7-3-2
使用模具
本项目中不使用模具。
7-3-3
操作
从MS参数菜单中选择“调整确认（C）”－“真空校准（U）”，会显示以下对话框。
MS
参数
7-6
＜操作・
1/5
＞
如Head上安装有吸嘴，请用简易控制卸下吸嘴。
按下“操作”框内的确认按钮后，即测定“到达真空状况”。
计测结束后，会显示以下图表。
MS
参数
7-7
＜操作・
2/5
＞
“到达真空状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“自然破坏状况”。
计测结束后，会显示以下图表。