KE-3010_MS参数.pdf - 第140页
MS 参数 7-7 <操作 ・ 2/5 > “ 到达真空状况 ” 的 测定结束后,按下 “ 确认 ” 按钮,测定 “ 自 然破坏状况 ” 。 计测结束后,会显示以 下图表。

MS
参数
7-6
<操作・
1/5
>
如Head上安装有吸嘴,请用简易控制卸下吸嘴。
按下“操作”框内的确认按钮后,即测定“到达真空状况”。
计测结束后,会显示以下图表。

MS
参数
7-7
<操作・
2/5
>
“到达真空状况”的测定结束后,按下“确认”按钮,测定“自然破坏状况”。
计测结束后,会显示以下图表。

MS
参数
7-8
<操作・
3/5
>
“自然破坏状况”的测定结束后,按下“确认”按钮,测定“加压破坏状况”。
计测结束后,显示以下图表。
<操作・
5/5
>
测定结束后,请按下“确认”按钮回到初始画面。