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第 4 章 桌面 4.5. 事件画面 当安全盖打开、按下[紧急停止]开关、或各轴的伺服驱动器发出警告时,显示如下画面。 图 4.5-1 错误显示画面(紧急停止) 在画面上,有时显示[如果想看其它事件,请按 右键]的提示。表明同时发生了几件事件,在 画面只显示优先度高的事件。 在此种情况下,按下 按钮,可显示出发生事件的层次结构。(正发生的事件划红色勾号)。 正在发生的事件 图 4.5-2 层次显示画面 4-51

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4 章 桌面
在[Head 上的吸嘴状况] 画面上,按下[Z 移动]按钮,会显示如下画面。
Z 轴的坐标原点为基板高度坐标原点(0),之上为“+”,之下为“-”。
图 4.4-6 Z 任意坐标移动画面
步骤 2: 在[Head 上的吸嘴状况]画面上,按下[打开 ATC][关闭 ATC]按钮,会显示如下确认对
话框画面。
图 4.4-7 ATC 滑动板开关确认对话框
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4 章 桌面
4.5. 事件画面
当安全盖打开、按下[紧急停止]开关、或各轴的伺服驱动器发出警告时,显示如下画面。
图 4.5-1 错误显示画面(紧急停止)
在画面上,有时显示[如果想看其它事件,请按右键]的提示。表明同时发生了几件事件,在
画面只显示优先度高的事件。
在此种情况下,按下
按钮,可显示出发生事件的层次结构。(正发生的事件划红色勾号)。
正在发生的事件
图 4.5-2 层次显示画面
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4 章 桌面
4.6. 取出基板画面
当生产过程中按下紧急停止开关时,可能出现基板停留在中央缓冲(中央传送带)、生产异常
结束的情况。现就如何取出基板的步骤说明如下。
4.6.1. 解除基板固定
解除紧急停止开关。通过手动控制(或生产简易准备
*1
),选择下列 [自动控制传送] 画面。
先按[解除基板固定]按钮,释放基板,然后用手将台架推到传送位置,把基板推到出口缓冲
(出口传送带)附近后取出。
图 4.6-1 基板自动控制传送画面
*1 [解除基板固定]按钮,在[生产支援] 菜单的简易准备中也有。
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