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第 6 章 编辑辅 助功能 不改变检测框时，请按下 ENTER 键。 和设置刻度框一样，设定检测框。 ********** ********** 设定的方法与设定刻度框方法相同。 虚线部分是模板的设定框，实际上不显示。 画面下显示 “ Set Left-Top Point “ 。 调整完成后，按下 ENTER 。 画面下显示 “ Set Right-Bottom Point” 。 在这里，按下 HOD 的 PREVIOUS 时，可返回到…
第 6 章 编辑辅助功能
其次，设定标记判定，选择 PR。
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[ *]ＰＲ
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模板的最大尺寸为 256×256 像素（画面的 1/4 左右）。
如果模板过大，则显示错误，返回上面顺序④。
⑤ 示教模板画面的重心。
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画面中显示刻度框和十字光标。
使用 HOD 移动十字光标，决定模板的重心(这个位置，与基板数
据的标记坐标是一致的)。
画面下显示 “ TempMatch－Set Center ”。
*将标记对准在 PR 位置上 ，按（HOD
的↑ 键、↓ 键 ）XY 上下移动箭头
键)、 ENTER 键。
画面下显示“Select Mark by Up or
Down Key” （请用上下键选择标记）
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⑥ 示教检测框。
结束⑤的示教重心后，画面中心自动显示出④ 操作设定的框 1.5 倍的窗口，（默
认窗口）。此时重心与画面的中心一致。
要改变检测框架时，请按④的顺序进行。
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第 6 章 编辑辅助功能
不改变检测框时，请按下 ENTER 键。
和设置刻度框一样，设定检测框。
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设定的方法与设定刻度框方法相同。
虚线部分是模板的设定框，实际上不显示。
画面下显示 “ Set Left-Top Point “。
调整完成后，按下 ENTER 。
画面下显示“Set Right-Bottom Point”。
在这里，按下 HOD 的 PREVIOUS 时，可返回到刻度框示教（③的操作）。
⑦ 完成识别示教之后，在标记数据的旁边显示（Ｔ）表示完成示教。请对所有使用的
标记进行识别示教。
此外，进行示教中，若按下 HOD 的 CANCEL 键，则示教结束。在这种情况下，前
面输入的数据全部变为无效。
按下 CANCEL 键后，装置停止移动。
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第 6 章 编辑辅助功能
关于设定模板的注意事项
1) 请确认检测框内没有与已设定的模板图案类似的图案。
2) 图案尺寸，要与标准标记一样，设定为 0.5～3 mm。
3) 坐标值请使用设计值（CAD 数据）。用户指定的模板数据，不能正确地求出图案的中心位
置。由于采用十字光标移动式的示教，用户指定的位置将被看作为中心位置。（而通常的
标记，是以计算求出的重心位置为图案的中心位置，不会出现误差）。
4) 用户指定的模板图案，不能进行图像复制。
5) 要把使用用户指定的模板的生产程序保存到软盘时，如软盘容量不足，有时不能保存其
生产程序。
6) 使用用户指定的模板的生产程序，要从软盘中读取和保存，比较费时间，建议不要直接
从软盘读取和保存。
7) 从 HD 中复制保存的生产程序时，请使用主菜单的[文件] 中的[文件夹管理（资源管理
器）]把软盘复制下来。
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