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第 13 章 自动校准 图 13.2-21 压力值图表 图 13.2-22 确认加压破坏状况 单击[确认]按钮。自动测量加压破坏状况。 测量内容 ①设定的贴片头移动到真空校准上,测量三次加压破坏状况。 显示第二次和第三次的平均值。 测量后显示的压力值图表是第三次的数据。 13-17

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13 章 自动校准
测量内容
①设定的贴片头移动到真空校准上,测量三次到达真空的状况。
显示第二次和第三次的平均值。
测量后显示的压力值图表是第三次的数据。
图 13.2-19 压力值图表
图 13.2-20 自然破坏状况 确认选择
单击[确认]按钮。自动测量自然破坏状况。
测量内容
①设定的贴片头移动到真空校准上,测量三次自然破坏状况。
显示第二次和第三次的平均值。
测量后显示的压力值图表是第三次的数据。
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13 章 自动校准
图 13.2-21 压力值图表
图 13.2-22 确认加压破坏状况
单击[确认]按钮。自动测量加压破坏状况。
测量内容
①设定的贴片头移动到真空校准上,测量三次加压破坏状况。
显示第二次和第三次的平均值。
测量后显示的压力值图表是第三次的数据。
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13 章 自动校准
图 13.2-23 压力值图表
图 13.2-24 确认故障解释
单击[确认]按钮。进行故障解释。
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