FX-1 使用说明书.pdf - 第741页
第 16 章 维护 16-5 (3)台架 来自 manifold
第 16 章 维护
16-4
请参考以下的配管图。
(1) 气压源
(2) ATC
通向 solenoid valve
往
Bank RR
往 CAL Block
往 Head L1
往 Head R1
往 Head L2
往
Bank FL
往
Head R2
往 Bank FR
往 Bank RL
来自 manifold valve
第 16 章 维护
16-5
(3)台架
来自 manifold
第 16 章 维护
16-6
(4)贴片头
マニホールドから
マニホールドから
来自复式接头
来自复式接头