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第 6 章 编辑辅 助功能 图 6.5-63 自动示教错误：空洞异常 ② 浓度异常时 空洞的影子浓度异常时显示下列提示信息。 图 6.5-64 自动示教错误：外周浓度异常 ③ 中心偏移时 设定的吸取数据与通过自动示 教校正过的吸取数据存在 很大偏移时，显示下列提示信 息。 图 6.5-65 自动示教错误：中心偏移 ④ 空洞边界检查失败时 当不能检测出空洞影子的矩形框时，显示下列提示信息。 图 6.5-66 自动示教错误：边界检查异常 6…
第 6 章 编辑辅助功能
把吸取高度跟踪的条件设定为[读取检测值]时会显示对话框，询问[是否把测量结
果反映到吸取数据]？。
要反映时，请按[是]键。
图 6.5-61 吸取高度跟踪：读取测量结果的确认对话框
若把吸取高度跟踪的条件设定为[确认摄像机位置]（用摄像机确认位置），则可在
VCS 监视器器中显示吸取位置。
显示下列对话框后，请阅读、确认。
如果跟踪位置正确无误，请按[是] 键。
需要修正示教吸取位置时，按[否] 键，进行(6)项的示教操作。
图 6.5-62 吸取高度跟踪：吸取位置确认对话框
（8）跟踪中的自动示教
跟踪暂停时，可以执行自动示教。
自动示教会出现以下 5 个错误/询问。
① 尺寸差异很大时
空洞指的是所安装的元件的坑凹处。与元件尺寸相比，空洞尺寸明显异常时，会显示
下列提示。
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第 6 章 编辑辅助功能
图 6.5-63 自动示教错误：空洞异常
② 浓度异常时
空洞的影子浓度异常时显示下列提示信息。
图 6.5-64 自动示教错误：外周浓度异常
③ 中心偏移时
设定的吸取数据与通过自动示教校正过的吸取数据存在很大偏移时，显示下列提示信
息。
图 6.5-65 自动示教错误：中心偏移
④ 空洞边界检查失败时
当不能检测出空洞影子的矩形框时，显示下列提示信息。
图 6.5-66 自动示教错误：边界检查异常
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第 6 章 编辑辅助功能
⑤ 执行自动示教而导致不能同时吸取时
当不能同时吸取时，显示下列提示信息。
要精度优先时，请按[是]，要速度优先时请按[否]。
图 6.5-67 执行自动示教而导致不能同时吸取时
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