JM-20_动作说明书.pdf - 第17页
Rev 1.0 动作说明书 3-4 3-2 基板传送 Ａ 11 ７ ８ ９ ５ ６ 10 ４ ２ ２ ３ ３ １ １ 1. IN 马达 ( 步进马达 ) 2. CENTER 马达 ( 步进马达 ) 3. OUT 马达 ( 步进马达 ) 4. IN 传感器 5. WAIT 传感器 6. STOP 传感器 7. C ･ OUT 传感器 8. OUT 传感器 9. 止动器 10. 支撑台电动机 ( 步进马达 ) 1 1. 支撑台原点传感器
Rev 1.0
动作说明书
3-3
<各轴原点复归前的预备动作>
轴 预备动作的内容
X，Y 如果在近点限位开关上，则以 jog 方式向离开近点限位开关的方向移动，
在近点限位开关变为 OFF 处停止 jog。
Z 无特别的动作。
θ 当无条件地进行原点复归动作时，如果 Z 相与原点复归开始位置离开过多，
则以爬行速度寻找 Z 相需要非常长的时间。进行的预备动作是，为了缩短
这一时间而以高速寻找 Z 相，使原点复归开始点位于 Z 相附近。
3-1-2 支撑台原点复归动作
支撑台原点复归的过程如下所示。
向机台上方凸凹移动
（传感器Off方向)
向机台下方向Step移动
（传感器On方向）
on
START
原点传感器
原点传感器ＯＮ
检测零相
END
off
on
on
off
殊霞
向机台下方向凸凹移动
（传感器On方向）
原点传感器ＯＮ
off
检测
Rev 1.0
动作说明书
3-4
3-2 基板传送
Ａ
11
７ ８９
５
６
10
４
２
２ ３
３
１
１
1.
IN 马达(步进马达)
2. CENTER 马达(步进马达)
3. OUT 马达(步进马达)
4. IN 传感器
5. WAIT 传感器
6. STOP 传感器
7. C･OUT 传感器
8. OUT 传感器
9. 止动器
10. 支撑台电动机(步进马达)
1
1. 支撑台原点传感器
Rev 1.0
动作说明书
3-5
异常种类 内容
IN 缓冲异常 1) IN 马达 ON 后，IN 传感器 3 秒以上 ON
｡
2)IN 马达转动时，IN 传感器和 WAIT 传感器同时变为 ON
｡
3) IN 传感器 ON，从 IN 马达开始转动起 6 秒钟之后，WAIT 传感器也不 ON
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
4) 从 IN 缓冲向中心缓冲过度经 6 秒之后也不结束
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
中心缓冲异常 1)中心马达连续转动 6 秒钟以上
｡
2) C･OUT 传感器 ON，STOP 传感器 OFF->ON
｡
3) 从中心向 OUT 缓冲过度经 6 秒之后也不结束
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
OUT 缓冲异常 1) OUT 马达连续 6 秒钟以上连续转动
｡
2) 出口侧 C･OUT 传感器和 OUT 传感器通知变为 ON
｡
3) 从 ReadyIN(ON)信号检测向后续工程过度经 6 秒之后也不结束
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
支撑台错误 1) 在支撑台电动机上升结束时 T･PIN 传感器启动(以孔为基准时)
｡
其他 1) 步进电动机错误
2) 支撑台电动机动作故障
3-2-1 传送电动机
如下表所示，电动机的旋转方向根据机器规格而不同。
传送方向 左→右 右→左
基准 身前 身前
正转 CCW CW 电动机旋转方向
反转 CW CCW
速度控制方式是三角形驱动（梯形驱动）。
速度档次有高速·中速·低速 3 级以及基板夹紧·重新夹紧时使用的预备进给 1·预备进给 2。
并且，通过参数设定，高速可以切换到 400mm/s 或 300mm/s。
252μm/脉冲，各速度分类值如下表所示。
最高速度 最高加速度 最高减速度
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
) ( mm/s
2
) (pps
2
)
高速 400 1,587 1008.0 4,000 1008.0 4,000
高速 300 1,190 1008.0 4,000 1008.0 4,000
中速 230 913 1008.0 4,000 1008.0 4,000
低速 130 515 1008.0 4,000 1008.0 4,000
预备进给 1 56 222 1008.0 4,000 1008.0 4,000
预备进给 2 14 55 1008.0 4,000 1008.0 4,000