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Rev 1.0 动作说明书 3-5 异常种类 内容 IN 缓冲异常 1) IN 马达 ON 后， IN 传感器 3 秒以上 ON ｡ 2)IN 马达转动时， IN 传感器和 WAIT 传感器同时变为 ON ｡ 3) IN 传感器 ON ，从 IN 马达开始转动起 6 秒钟之后， WAIT 传感器也不 ON ｡ ( 有关时间，由机械控制参数决定 ) 4) 从 IN 缓冲向中心缓冲过度经 6 秒之后也不结束 ｡ ( 有关时间，由机械控制参数…
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3-4
3-2 基板传送
Ａ
11
７ ８９
５
６
10
４
２
２ ３
３
１
１
1.
IN 马达(步进马达)
2. CENTER 马达(步进马达)
3. OUT 马达(步进马达)
4. IN 传感器
5. WAIT 传感器
6. STOP 传感器
7. C･OUT 传感器
8. OUT 传感器
9. 止动器
10. 支撑台电动机(步进马达)
1
1. 支撑台原点传感器
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动作说明书
3-5
异常种类 内容
IN 缓冲异常 1) IN 马达 ON 后，IN 传感器 3 秒以上 ON
｡
2)IN 马达转动时，IN 传感器和 WAIT 传感器同时变为 ON
｡
3) IN 传感器 ON，从 IN 马达开始转动起 6 秒钟之后，WAIT 传感器也不 ON
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
4) 从 IN 缓冲向中心缓冲过度经 6 秒之后也不结束
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
中心缓冲异常 1)中心马达连续转动 6 秒钟以上
｡
2) C･OUT 传感器 ON，STOP 传感器 OFF->ON
｡
3) 从中心向 OUT 缓冲过度经 6 秒之后也不结束
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
OUT 缓冲异常 1) OUT 马达连续 6 秒钟以上连续转动
｡
2) 出口侧 C･OUT 传感器和 OUT 传感器通知变为 ON
｡
3) 从 ReadyIN(ON)信号检测向后续工程过度经 6 秒之后也不结束
｡
(有关时间，由机械控制参数决定)
支撑台错误 1) 在支撑台电动机上升结束时 T･PIN 传感器启动(以孔为基准时)
｡
其他 1) 步进电动机错误
2) 支撑台电动机动作故障
3-2-1 传送电动机
如下表所示，电动机的旋转方向根据机器规格而不同。
传送方向 左→右 右→左
基准 身前 身前
正转 CCW CW 电动机旋转方向
反转 CW CCW
速度控制方式是三角形驱动（梯形驱动）。
速度档次有高速·中速·低速 3 级以及基板夹紧·重新夹紧时使用的预备进给 1·预备进给 2。
并且，通过参数设定，高速可以切换到 400mm/s 或 300mm/s。
252μm/脉冲，各速度分类值如下表所示。
最高速度 最高加速度 最高减速度
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
) ( mm/s
2
) (pps
2
)
高速 400 1,587 1008.0 4,000 1008.0 4,000
高速 300 1,190 1008.0 4,000 1008.0 4,000
中速 230 913 1008.0 4,000 1008.0 4,000
低速 130 515 1008.0 4,000 1008.0 4,000
预备进给 1 56 222 1008.0 4,000 1008.0 4,000
预备进给 2 14 55 1008.0 4,000 1008.0 4,000
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3-6
3-2-2 支撑台
支撑台、机械控制以及有效行程
基板上面高度
0.5mm
5mm
有效行程 52.5mm
MS 参数输入
２ mm
7mm
40mm(最大)
最大基板下限制
机械行程 59mm
④原点高度位置
Ｂ(原点传感器 ON 方向)
Ａ(原点传感器 OFF 方向)
变换器检测零相
③软下方限制位置
①机械下方限制位置
②机械上方限制位置
①： 下方向的机械限制高度
②： 上方向的机械限制高度
③： 在有效行程下限位置，是基板送入、送出时的待机位置。
有效行程上限位置从③的高度上升 52.5 ｍｍ上升位置、与②高度相同。
有效行程∶ 生产中可以驱动的行程范围
（注） 基板下限制可以在从 5mm 起 40mm 的范围，以１ mm 单位进行设定。
违反的基板下限制为 40 ｍｍ。
（注） ③的有效行程下限高度，根据基板下限而变化。
因此，有效行程也按下式变化。
有效行程(mm) ＝基板下限(mm)＋5＋7＋0.5
基板送入·送出时的待机高度也同样变化。
以有效行程上限为基准高度
待机高度(mm)＝基板下限(mm)＋5＋7