JM-20_动作说明书.pdf - 第23页
Rev 1.0 动作说明书 3-10 3 ） 支撑台上升速度：低速 生産開始位置へ移動 4 ） 支撑台上升速度：低速 2 INｾﾝ ｻ WAITｾﾝｻ STO Pｾﾝ ｻ INﾓｰﾀ ｾﾝﾀ ｰﾓｰﾀ ｻﾎﾟ ｰﾄ ﾌﾟ ﾚｰﾄﾓｰﾀ 100ms ｾﾝﾀ ｰｽﾄｯﾊﾟｰ 100ms 100ms 動作時間 1080ms 1650ms 予備送り ( 距離 43.7mm ） XY軸 (0.7m m) (0 .1mm + 22 .9mm) 77…
Rev 1.0
动作说明书
3-9
3-2-4 基板传送同步时间图
1） 支撑台上升速度：高速
生産開始位置へ移動
2） 支撑台上升速度：中速
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀﾓｰﾀ
ｻﾎﾟｰﾄﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟ
外形基
準
(Xﾌﾟｯｼｬ
）
100ms 100ms
動作時間
600ms
400ms
予備送り ( 距離：43.85mm）
(20mm) (1.5mm + 19.3mm)
(2.8mm)
56mm/s
400mm/s
XY軸
向生产开始位置移动
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
预备进给（距离 43.85mm）
中央电动机
支撑板电动机
动作时间
中央止动器
430ms
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ）
400ms
動作時間
200ms
动作时间
外形基准（Y 推杆）
生産開始位置へ移動
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀﾓｰﾀ
ｻﾎﾟｰﾄﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟ
外形基準(Xﾌﾟｯｼｬ）
100ms 100ms
動作時間
960ms
400ms
XY軸
予備送り ( 距離：43.85mm）
(20mm) (1.5mm + 19.3mm)
(2.8mm)
56mm/s
400mm/s
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ）
400ms
430ms
動作時間
動作時間
200ms
360ms
预备进给（距离 43.85mm）
外形基准（Y 推杆）
中央止动器
支撑板电动机
动作时间
向生产开始位置移动
中央电动机
IN 电动机
STOP 传感器
WAIT 传感器
IN 传感器
XY 轴
动作时间
760ms
Rev 1.0
动作说明书
3-10
3） 支撑台上升速度：低速
生産開始位置へ移動
4） 支撑台上升速度：低速 2
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀｰﾓｰﾀ
ｻﾎﾟｰﾄﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ
100ms
100ms
動作時間
1080ms
1650ms
予備送り ( 距離 43.7mm）
XY軸
(0.7mm)
(0.1mm + 22.9mm)
770ms
(20mm)
14mm/s
400mm/s
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ)
480
ms
動作時間
430ms
動作時間
200ms
400ms
向生产开始位置移动
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
预备进给（距离 43.7mm）
中央电动机
支撑板电动机
动作时间
中央止动器
外形基准（Y 推杆）
动作时间
880ms
生産開始位置へ移動
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀｰﾓｰﾀ
ｻﾎﾟｰﾄﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ
100ms
100ms
動作時間
2160ms
1650ms
予備送り ( 距離 43.7mm）
XY軸
(0.7mm)
(0.1mm + 22.9mm)
770ms
(20mm)
14mm/s
400mm/s
動作時間
1560ms
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ)
430ms
動作時間
200ms
400ms
预备进给（距离 43.7mm）
外形基准（Y 推杆）
中央止动器
支撑板电动机
动作时间
向生产开始位置移动
中央电动机
IN 电动机
STOP 传感器
WAIT 传感器
IN 传感器
XY 轴
动作时间
1960ms
Rev 1.0
动作说明书
3-11
3-3 吸嘴更换动作
3-3-1 有θ修正时
移動
停止
移動
停止
回転
停止
計測
非計測
Open
Close
On
Off
On
Off
On
Off
On
Off
XY
Z
θ
レーザ
スライド
プレート
Open
センサ
Close
センサ
Vaccume
Blow
1
3
2
4
10
C
5
6
7
8
9
11 12
13
14 15
16
C
ノズル返却動作(θ補正有)
17
18
19
A
20
21
22
23
計測
非計測
Open
Close
On
Off
On
Off
On
Off
On
Off
XY
Z
θ
レーザ
スライド
プレート
Open
センサ
Clos
センサ
Vaccume
Blow
移動
停止
移動
停止
回転
停止
e
3
8
13
ノズル装着動作(θ補正有)
移动
停止
移动
停止
56
移动
停止
1
2
4 7
9
10
11
12
移动
停止
B
14
15
16
17
E
18
19
20
21
22
23
24
25
D
26
旋转
停止
旋转
停止
吸嘴归还动作
（
有
θ
校正
）
吸嘴归还动作（有 θ 校正） 吸嘴安装动作（有 θ 校正）
项 目 动 作 备 注 项 目 动 作 备 注
1 X、Y 开始向归还吸嘴位置移动 1 真空 On
2 θ 预加载 2 Z 向检测有无吸嘴高度移动
3 Z 向确认有无吸嘴高度移动 3 激光 检测有无吸嘴 ONCE
4 滑板 开动作开始 4 Z 向 XY 轴能够移动高度移动
5 X、Y 向归还吸嘴位置移动结束 5 X、Y 开始向安装吸嘴位置移动
6 激光 检测有无吸嘴 ONCE 6 X、Y 向安装吸嘴位置移动结束
7 Z 向归还吸嘴姿态检测高度
移动
7 Z 向滑板+5mm 位置移动
8 激光 检测归还吸嘴姿态 SWEEP 8 θ 移动到吸嘴安装角度
9 θ 向归还吸嘴角度移动 9 Z 等待卸料 10msec
10 滑板 等待开动作结束 Wait C 10 激光 故障检测 ONCE
11 Z 向交换吸嘴位置移动 Wait B 11 Z
向滑板位置移动
2 级控制第 1 次
12 真空 压力上升检测
12 Z 向滑板位置移动
2 级控制第 2 次
13Z 向滑板能够动作位置移动
13 滑板 闭动作开始 14真空 Off
14 送风 On第 1 次 50msec 15 送风 On
15 送风 On第 2 次 50msec 16 滑板 开动作开始
16 滑板 等待闭动作结束 Wait C 17 Open 传
感器
On Wait E
17 Z 向交换吸嘴高度移动 18送风 Off
18 送风 On 19 Z 向吸嘴安装检测高度移动
19 Z 保持交换吸嘴高度 Wait A 20 激光 检测有无吸嘴 ONCE
20 Z 向检测有无吸嘴高度移动 21Z 向吸嘴安装姿态检测高度
移动
21 激光 检测有无吸嘴 ONCE 22激光 检测吸嘴安装姿态 SWEEP
22 Z 向 XY 轴可移动高度移动 23θ 移动到吸嘴安装校正角度
23 送风 Off 24 滑板 闭动作开始
25Close 传
感器
On Wait D
26 Z 向 XY 轴能够移动高度移动
Wait A：50msec Wait B：30msec Wait C：80msec Wait D：80msec Wait E：80msec
吸嘴安装动作
（
有
θ
校正
）
计测
非计测
计测
非计测
激光
激光
滑板
Open
传感器
滑板
Open
传感器
Cl
ose
传感器
Cl
ose
传感器