JM-20_动作说明书.pdf - 第21页

Rev 1.0 动作说明书 3-8 3-2-3 基板夹紧时的程序 基板夹紧时的程序如下所示。 STOP 传感器 ON 检测 减速距离 准备进给距离 准备进给速度 传送速度 准备进给减速时间 支撑台上升等待时间 减速时间 准备进给时间 总准备进给距离 支撑台上升时间 基板夹紧时间 根据支撑台上升速度，准备进给动作如下表所示。 支撑台 上升速度 传送 减速距离 (mm) 准备进给 时间 ( m s ) 准备进给 减速时间 (ms) 准备进给…

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Rev 1.0
动作说明书
3-7
3-2-2-1 支撑台电动机
支撑台的上升速度能从高速·中速·低速·低速 2 中选择。
支撑台的上升速度被设定为低速·低速 2 时，夹紧的预备进给动作也自动地变成低速 2（14mm/s）。
并且，控制方法在上升时为时间固定，在下降时为加速度固定。
各速度档次中的速度控制方式如下表所示。
・ 支撑台上升速度配置
最高速度 加速度/减速度
速度 行程 方式 移动时间
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
)
5 加速度固定 - 16.675 667 56.0 2222
50 时间固定 600 166.675 6667 556.0 22222
高速
- 梯形驱动 - 166.675 6667 556.0 22222
5 加速度固定 - 10.425 417 22.0 869
50 时间固定 960 104.175 4167 217.0 8681
中速
- 梯形驱动 - 104.175 4167 217.0 8681
5 加速度固定 - 9.250 370 17.0 686
50 时间固定 1080 92.575 3703 171.0 6859
低速
- 梯形驱动 - 92.575 3703 171.0 6859
5 加速度固定 - 4.628 185 4.285 171
50 时间固定 2160 46.287 1852 42.85 1714
低速 2
- 梯形驱动 - 46.287 1852 42.85 1714
・ 支撑台下降速度配置
最高速度 加速度/减速度
速度 行程 方式 移动时间
(mm/s)
(pps) (mm/s
2
) (pps
2
)
50 加速度固定 － 166.675 6667 556.0 22222
－ 台形駆動 － 166.675 6667 556.0 22222
高速
－ － － － － － －
50 加速度固定 － 104.175 4167 217.0 8681
－ 台形駆動 － 104.175 4167 217.0 8681
中速
－ － － － － － －
50 加速度固定 － 92.575 3703 171.0 6859
－ 台形駆動 － 92.575 3703 171.0 6859
低速
－ － － － － － －
50 加速度固定 － 46.287 1852 42.85 1714
－ 台形駆動 － 46.287 1852 42.85 1714
低速 2
－ － － － － － －
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动作说明书
3-8
3-2-3 基板夹紧时的程序
基板夹紧时的程序如下所示。
STOP 传感器 ON 检测
减速距离 准备进给距离
准备进给速度
传送速度
准备进给减速时间
支撑台上升等待时间
减速时间
准备进给时间
总准备进给距离
支撑台上升时间
基板夹紧时间
根据支撑台上升速度，准备进给动作如下表所示。
支撑台
上升速度
传送
减速距离
(mm)
准备进给
时间 (ms)
准备进给
减速时间
(ms)
准备进给
最高速度
(mm/s)
准备进给
距离
(mm)
总准备进给
距离
(mm)
高速 20.0 400 100 56 23.85 43.85
中速 20.0 400 100 56 23.85 43.85
低速 20.0 1650 100 14 23.70 43.70
低速 2 20.0 1650 100 14 23.70 43.70
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动作说明书
3-9
3-2-4 基板传送同步时间图
1） 支撑台上升速度：高速
生産開始位置へ移動
2） 支撑台上升速度：中速
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀﾓｰﾀ
ｻﾎﾟｰﾄﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟ
外形基
準
(Xﾌﾟｯｼｬ
）
100ms 100ms
動作時間
600ms
400ms
予備送り ( 距離：43.85mm）
(20mm) (1.5mm + 19.3mm)
(2.8mm)
56mm/s
400mm/s
XY軸
向生产开始位置移动
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
预备进给（距离 43.85mm）
中央电动机
支撑板电动机
动作时间
中央止动器
430ms
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ）
400ms
動作時間
200ms
动作时间
外形基准（Y 推杆）
生産開始位置へ移動
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀﾓｰﾀ
ｻﾎﾟｰﾄﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟ
外形基準(Xﾌﾟｯｼｬ）
100ms 100ms
動作時間
960ms
400ms
XY軸
予備送り ( 距離：43.85mm）
(20mm) (1.5mm + 19.3mm)
(2.8mm)
56mm/s
400mm/s
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ）
400ms
430ms
動作時間
動作時間
200ms
360ms
预备进给（距离 43.85mm）
外形基准（Y 推杆）
中央止动器
支撑板电动机
动作时间
向生产开始位置移动
中央电动机
IN 电动机
STOP 传感器
WAIT 传感器
IN 传感器
XY 轴
动作时间
760ms