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Rev 1.0 动作说明书 3-7 3-2-2-1 支撑台电动机 支撑台的上升速度能从高速 · 中速 · 低速 · 低速 2 中选择。 支撑台的上升速度被设定为低速 · 低速 2 时，夹紧的预备进给动作也自动地变成低速 2 （ 1 4 mm/s ）。 并且，控制方法在上升时为时间固定，在下降时为加速度固定。 各速度档次中的速度控制方式如下表所示。 ・ 支撑台上升速度配置 最高速度 加速度 / 减速度 速度 行程 方式 移动时间 (mm/…
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3-6
3-2-2 支撑台
支撑台、机械控制以及有效行程
基板上面高度
0.5mm
5mm
有效行程 52.5mm
MS 参数输入
２ mm
7mm
40mm(最大)
最大基板下限制
机械行程 59mm
④原点高度位置
Ｂ(原点传感器 ON 方向)
Ａ(原点传感器 OFF 方向)
变换器检测零相
③软下方限制位置
①机械下方限制位置
②机械上方限制位置
①： 下方向的机械限制高度
②： 上方向的机械限制高度
③： 在有效行程下限位置，是基板送入、送出时的待机位置。
有效行程上限位置从③的高度上升 52.5 ｍｍ上升位置、与②高度相同。
有效行程∶ 生产中可以驱动的行程范围
（注） 基板下限制可以在从 5mm 起 40mm 的范围，以１ mm 单位进行设定。
违反的基板下限制为 40 ｍｍ。
（注） ③的有效行程下限高度，根据基板下限而变化。
因此，有效行程也按下式变化。
有效行程(mm) ＝基板下限(mm)＋5＋7＋0.5
基板送入·送出时的待机高度也同样变化。
以有效行程上限为基准高度
待机高度(mm)＝基板下限(mm)＋5＋7
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3-2-2-1 支撑台电动机
支撑台的上升速度能从高速·中速·低速·低速 2 中选择。
支撑台的上升速度被设定为低速·低速 2 时，夹紧的预备进给动作也自动地变成低速 2（14mm/s）。
并且，控制方法在上升时为时间固定，在下降时为加速度固定。
各速度档次中的速度控制方式如下表所示。
・ 支撑台上升速度配置
最高速度 加速度/减速度
速度 行程 方式 移动时间
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
)
5 加速度固定 - 16.675 667 56.0 2222
50 时间固定 600 166.675 6667 556.0 22222
高速
- 梯形驱动 - 166.675 6667 556.0 22222
5 加速度固定 - 10.425 417 22.0 869
50 时间固定 960 104.175 4167 217.0 8681
中速
- 梯形驱动 - 104.175 4167 217.0 8681
5 加速度固定 - 9.250 370 17.0 686
50 时间固定 1080 92.575 3703 171.0 6859
低速
- 梯形驱动 - 92.575 3703 171.0 6859
5 加速度固定 - 4.628 185 4.285 171
50 时间固定 2160 46.287 1852 42.85 1714
低速 2
- 梯形驱动 - 46.287 1852 42.85 1714
・ 支撑台下降速度配置
最高速度 加速度/减速度
速度 行程 方式 移动时间
(mm/s)
(pps) (mm/s
2
) (pps
2
)
50 加速度固定 － 166.675 6667 556.0 22222
－ 台形駆動 － 166.675 6667 556.0 22222
高速
－ － － － － － －
50 加速度固定 － 104.175 4167 217.0 8681
－ 台形駆動 － 104.175 4167 217.0 8681
中速
－ － － － － － －
50 加速度固定 － 92.575 3703 171.0 6859
－ 台形駆動 － 92.575 3703 171.0 6859
低速
－ － － － － － －
50 加速度固定 － 46.287 1852 42.85 1714
－ 台形駆動 － 46.287 1852 42.85 1714
低速 2
－ － － － － － －
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3-2-3 基板夹紧时的程序
基板夹紧时的程序如下所示。
STOP 传感器 ON 检测
减速距离 准备进给距离
准备进给速度
传送速度
准备进给减速时间
支撑台上升等待时间
减速时间
准备进给时间
总准备进给距离
支撑台上升时间
基板夹紧时间
根据支撑台上升速度，准备进给动作如下表所示。
支撑台
上升速度
传送
减速距离
(mm)
准备进给
时间 (ms)
准备进给
减速时间
(ms)
准备进给
最高速度
(mm/s)
准备进给
距离
(mm)
总准备进给
距离
(mm)
高速 20.0 400 100 56 23.85 43.85
中速 20.0 400 100 56 23.85 43.85
低速 20.0 1650 100 14 23.70 43.70
低速 2 20.0 1650 100 14 23.70 43.70