维修手册_RX-7R_SVC.pdf - 第135页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 61 用手移动 XY 轴的 Y 轴，使与装置内前端的机械限动器接触，接着将 Y 轴向后移动， 3 与后端的机械限动器接触。 触摸［校准完毕］。 4 测定 XY 轴之最大 值和 最小 值的 1 mm 前方的量（软件极 限值）及当时的行程量。 列表显示测定结 果，［完毕］按钮 生效 。 触摸［完毕］。 5 显示 左侧装置 XY 校准 的［个别显示 ］画面。请依照画面的指示 ，与右侧装置相同地实施 校…
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
60
XY
轴的软件极限
触摸［开始校准］。
1
进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
注意
•
进行这一操作期间，不能向其他画面移动。
打开前面护罩，用手移动
XY
轴的
X
轴，使与装置内左端的机械限动器接触，接着将
2
X
轴向右移动，与右端的机械限动器接触。
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
61
用手移动
XY
轴的
Y
轴，使与装置内前端的机械限动器接触，接着将
Y
轴向后移动，
3
与后端的机械限动器接触。
触摸［校准完毕］。
4
测定
XY
轴之最大值和最小值的
1 mm
前方的量（软件极限值）及当时的行程量。
列表显示测定结果，［完毕］按钮生效。
触摸［完毕］。
5
显示左侧装置
XY
校准的［个别显示］画面。请依照画面的指示，与右侧装置相同地实施校准。
全部工序完成后，显示为［已完成
XY
校准。］。
触摸［调整
OK
］。
6
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
62
2-3-2.
高度校准
HMS
转写
Stage1
的处理完成后，显示如下画面。首先把基板翘曲检测传感器转写调整治具板安装到右侧装置上。
触摸［开始安装］。
1
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，
XY
轴退避，根据治具板的尺寸对前侧通道
的传送宽度自动进行宽度调整。然后，进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
通道宽度需要进行微调时，请触摸
/
进行调整。