维修手册_RX-7R_SVC.pdf - 第142页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 68 治具芯片放置台 基板面的高度测 定完成后， 显示 如下画面。从转写校准的 治具 放置 台上拆下 治具 芯片。 触摸［开始拆卸］。 1 进行左右一次性 更换台车上升、前面护罩的 锁定后， XY 轴向待机位置移动 ，进行左右 一次性更 换台车下降、前 面护罩解除锁定。 打开前面护罩，从右侧装置转写校准治具放置台上拆下治具芯片。 2 关闭前面护罩，触摸［拆卸完成］。 3 进行左右一次性 更换台车…
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
67
高度开关
触摸［校准执行］。
1
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩锁定，传感器对吸嘴高度检测开关的高度进行测定。
会显示基板面高度与吸嘴高度检测开关的高度差，确认在±
0.05
以内。如不符合规格入，请松
开螺丝调整差分，再次进行校准。
触摸［完毕］。
2
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
68
治具芯片放置台
基板面的高度测定完成后，显示如下画面。从转写校准的治具放置台上拆下治具芯片。
触摸［开始拆卸］。
1
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，
XY
轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
打开前面护罩，从右侧装置转写校准治具放置台上拆下治具芯片。
2
关闭前面护罩，触摸［拆卸完成］。
3
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸［完毕］。
4
显示转写校准治具放置台的高度测定画面。
装置前面
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
69
触摸［校准执行］。
5
用传感器测定治具放置台的高度。校准正常完成后，显示［校准处理正常完成。］的信息。
触摸［完毕］。
6
保存校准结果，显示治具芯片的安装画面。
触摸［开始安装］。
7
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，
XY
轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
打开前面护罩，把治具芯片安装到右侧装置的转写校准治具放置台上。
8
治具芯片要把有电路图形的一面朝上置放。
关闭前面护罩，触摸［安装完成］。
9
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸［完毕］。
10