维修手册_RX-7R_SVC.pdf - 第448页
第 3 章 布置图 3- 6. 气动控制单元 8 3- 6. 气动控制单元 AIR COMBINAION MANIFOLD (TROLLY LI FT) VACUUM PUMP MANIFOLD (AIR SUPPLY) MANIFOLD (VACUUM)
第
3
章
布置图
3-5.
伺服单元
7
3-5.
伺服单元
X
、
Y
伺服单元
多轴伺服单元
(SV5)
第
3
章
布置图
3-6.
气动控制单元
8
3-6.
气动控制单元
AIR COMBINAION
MANIFOLD
(TROLLY LIFT)
VACUUM PUMP
MANIFOLD
(AIR SUPPLY)
MANIFOLD
(VACUUM)
第
3
章
布置图
3-7.
贴装头单元
9
3-7.
贴装头单元
P16S HEAD UNIT
MAIN SHAFT ASSY