维修手册_RX-7R_SVC.pdf - 第447页
第 3 章 布置图 3- 5. 伺服单元 7 3- 5. 伺服单元 X 、 Y 伺服单元 多轴伺服单元 (SV5)
第
3
章
布置图
3-4.
电气单元
6
3-4.
电气单元
View (A)
第
3
章
布置图
3-5.
伺服单元
7
3-5.
伺服单元
X
、
Y
伺服单元
多轴伺服单元
(SV5)
第
3
章
布置图
3-6.
气动控制单元
8
3-6.
气动控制单元
AIR COMBINAION
MANIFOLD
(TROLLY LIFT)
VACUUM PUMP
MANIFOLD
(AIR SUPPLY)
MANIFOLD
(VACUUM)